[发明专利]线栅偏振器的线侧壁保护

权利要求书

1.一种线栅偏振器，包括：

基板和所述基板上的多条线；

每对相邻的线之间的通道；

每条线具有更靠近所述基板的近端；

每条线具有更远离所述基板的远端；

在每条线的两个相对侧中的每一侧上的侧壁，每个侧壁面向所述通道并且从所述近端延伸到所述远端；

每一侧壁上具有保护层，所述线被夹在一对保护层之间；

所述一对保护层通过所述远端上没有保护层的区域彼此分开；

所述保护层包括金属氧化物、氨基膦酸盐或两者；

每一层保护层的最大厚度是25nm，所述厚度是在测量位置垂直于所述侧壁测量的；

每条线具有更靠近所述近端的下层和更靠近所述远端的上层；

所述上层比所述下层更耐水腐蚀、更抗氧化或两者兼具；以及

所述基板、所述一对保护层和所述上层环绕所述下层。

2.根据权利要求1所述的线栅偏振器，其中每一层保护层邻接所述线的相应侧壁。

3.根据权利要求1所述的线栅偏振器，其中所述上层比所述下层更耐水腐蚀。

4.根据权利要求1所述的线栅偏振器，其中所述上层比所述下层更抗氧化。

5.根据权利要求1所述的线栅偏振器，其中所述上层比所述下层更耐水腐蚀并且更抗氧化。

6.根据权利要求1所述的线栅偏振器，其中所述下层包括锗、铝或两者。

7.根据权利要求6所述的线栅偏振器，其中所述上层包括硅。

8.根据权利要求1所述的线栅偏振器，其中所述通道中的所述基板没有所述保护层。

9.根据权利要求1所述的线栅偏振器，其中每一层保护层包括氧化铝、氧化硅、氮化硅、氧氮化硅、碳化硅、氧化铪、氧化锆或其组合。

10.根据权利要求1所述的线栅偏振器，还包括：

在所述线的所述远端的疏水层，所述疏水层包括化学式(1)、化学式(2)或其组合：

其中r是正整数，每个R¹独立地是疏水基团，X是与所述线接合的键，每个R³独立地是化学元素或基团；并且

所述疏水层是保形层，所述疏水层邻接所述线的所述远端，并且每一层保护层被夹在所述疏水层与所述线之间。