[发明专利]大孔径激光直写物镜有效
| 申请号： | 202210216895.7 | 申请日： | 2022-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN114488491B | 公开（公告）日： | 2022-10-28 |
| 发明（设计）人： | 黄木旺;刘旭;匡翠方;林法官 | 申请（专利权）人： | 浙江大学;福建福特科光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B13/00 | 分类号： | G02B13/00;G02B13/18;G03F7/20 |
| 代理公司： | 福州市众韬专利代理事务所(普通合伙) 35220 | 代理人： | 黄秀婷 |
| 地址： | 310063 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种大孔径激光直写物镜。包括沿光线入射方向依次设置的负光焦度的第一群组、负光焦度的第二群组、以及正光焦度的第三群组；其中第一群组为变形双高斯的结构，有利用消除垂轴色差，比如倍率色差、慧差、像差、畸变等；第二群组由双胶合透镜和三胶合透镜组成，有利于消除系统的轴向色差，第三群组中有一枚弯月型单透镜起到齐明透镜的作用，可以大幅提高数值孔径，所述第二群组为内对焦组，并沿光轴方向移动可调。本发明数值孔径NA值在0.6～1.0之间，通过移动第二群组，达到对双光子光刻胶折射率的变动进行适应，同时扩大了像方视场，且倍率色差在衍射极限内。 | ||
| 搜索关键词： | 孔径 激光 物镜 | ||
【主权项】：
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