[发明专利]大孔径激光直写物镜

权利要求书

1.一种大孔径激光直写物镜，其特征在于：包括沿光线入射方向依次设置的负光焦度的第一群组(A)、可移动的负光焦度的第二群组(B)、以及正光焦度的第三群组(C)；

其中各群组的焦距满足以下关系：

12.5＜|fA/fS|＜24.5；

1.1＜|fC/fS|＜3.2；

其中：fA为第一群组的焦距，fC为第三群组的焦距，fS为物镜的焦距；

所述第一群组的焦距fA为：-282mm＜fA＜-120mm；

所述第三群组的焦距fC为：16mm＜fC＜25mm；

所述大孔径激光直写物镜的数值孔径NA值在0.6～1.0之间，所述第一群组(A)为变形双高斯结构，所述第二群组(B)由双胶合透镜和三胶合透镜组成，第三群组(C)中的一枚弯月型单透镜为齐明透镜；

在第二群组(A)中至少有一枚镜片使用超低色散材料，所述超低色散材料的阿贝数范围为90～100；

在第三群组(C)中至少有两枚镜片使用低色散材料，所述超低色散材料的阿贝数范围为65～100。

2.根据权利要求1所述的大孔径激光直写物镜，其特征在于：所述第一群组(A)包括沿光线入射方向依次设置的第一透镜(A1)、第二透镜(A2)、第三透镜(A3)、第四透镜(A4)、第五透镜(A5)、第六透镜(A6)和第七透镜(A7)；

所述第一透镜(A1)为正光焦度的弯月透镜，第二透镜(A2)为正光焦度的双凸透镜，第三透镜(A3)为负光焦度的双凹透镜，所述第三透镜(A3)和第二透镜(A2)组成双胶合组，第四透镜(A4)为负光焦度的双凹透镜，第五透镜(A5)为负光焦度的双凹透镜，第六透镜(A6)为正光焦度的双凸透镜，所述第六透镜(A6)和第五透镜(A5)组成双胶合组，第七透镜(A7)为正光焦度的双凸透镜。

3.根据权利要求2所述的大孔径激光直写物镜，其特征在于：所述第二群组(B)包括沿光线入射方向依次设置的第八透镜(B8)、第九透镜(B9)、第十透镜(B10)、第十一透镜(B11)和第十二透镜(B12)；

所述第八透镜(B8)为正光焦度的双凸透镜，所述第九透镜(B9)为负光焦度的双凹透镜，第十透镜(B10)为正光焦度的双凸透镜，所述第八透镜(B8)、第九透镜(B9)和第十透镜(B10)组成三胶合组，第十一透镜(B11)为负光焦度的双凹透镜，第十二透镜(B12)为正光焦度的弯月透镜，所述第十一透镜(B11)和第十二透镜(B12)组成双胶合组。

4.根据权利要求3所述的大孔径激光直写物镜，其特征在于：所述第三群组(C)包括沿光线入射方向依次设置的第十三透镜(C13)、第十四透镜(C14)、第十五透镜(C15)、第十六透镜(C16)、第十七透镜(C17)、第十八透镜(C18)、第十九透镜(C19)、第二十透镜(C20)、第二十一透镜(C21)和第二十二透镜(C22)；

所述第十三透镜(C13)为正光焦度的双凸透镜，第十四透镜(C14)为正光焦度的双凸透镜，第十五透镜(C15)为负光焦度的双凹透镜，第十五透镜(C15)和第十四透镜(C14)组成双胶合组，第十六透镜(C16)为正光焦度的双凸透镜，第十七透镜(C17)为负光焦度的双凹透镜，第十七透镜(C17)和第十六透镜(C16)组成双胶合组，第十八透镜(C18)为正光焦度的双凸透镜，第十九透镜(C19)为负光焦度的双凹透镜，第十九透镜(C19)和第十八透镜(C18)组成双胶合组，第二十透镜(C20)为正光焦度的弯月透镜，第二十一透镜(C21)为负光焦度的弯月透镜，第二十二透镜(C22)为正光焦度的平凸透镜，第二十二透镜(C22)和第二十一透镜(C21)组成双胶合组。