[发明专利]基于晶圆传送监管控制方法、系统、计算机设备和存储介质有效
| 申请号： | 202210208127.7 | 申请日： | 2022-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN115220400B | 公开（公告）日： | 2023-04-11 |
| 发明（设计）人： | 申国莉;缪峰 | 申请（专利权）人： | 弥费科技（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718 | 代理人： | 黄贞君;郑纯 |
| 地址： | 201306 上海市浦东新区中国（上海）*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于晶圆传送监管控制方法、系统、计算机设备和存储介质，属于晶圆传送控制领域，方法包括制造执行单元生成传输指令，传输指令包含多条命令，多条命令根据指令序列共同组成第一传送路径；物料管控单元接收根据指令序列发送的传输指令；物料管控单元获取传输指令中目标晶圆的传输状态信息；物流管控单元根据传输状态信息对传送信息中的第一传送路径进行调整，并生成目标晶圆的目标传送路径，根据指令序列将目标传送路径发送给物料搬运单元；控制物料搬运单元根据物流管控单元发送来的目标传送路径对目标晶圆进行搬运。通过本申请的处理方案，一次性传输多条指令，减少不同单元之间传输的交互时间及次数，提高程序处理速度。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 传送 监管 控制 方法 系统 计算机 设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
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