[发明专利]基于晶圆传送监管控制方法、系统、计算机设备和存储介质

说明书

本发明提供了一种基于晶圆传送监管控制方法、系统、计算机设备和存储介质，属于晶圆传送控制领域，方法包括制造执行单元生成传输指令，传输指令包含多条命令，多条命令根据指令序列共同组成第一传送路径；物料管控单元接收根据指令序列发送的传输指令；物料管控单元获取传输指令中目标晶圆的传输状态信息；物流管控单元根据传输状态信息对传送信息中的第一传送路径进行调整，并生成目标晶圆的目标传送路径，根据指令序列将目标传送路径发送给物料搬运单元；控制物料搬运单元根据物流管控单元发送来的目标传送路径对目标晶圆进行搬运。通过本申请的处理方案，一次性传输多条指令，减少不同单元之间传输的交互时间及次数，提高程序处理速度。

技术领域

本发明涉及半导体晶圆传送控制领域，具体涉及一种基于晶圆传送监管控制方法、系统、计算机设备和存储介质。

背景技术

半导体元件在制作过程中通常包含一系列工艺，上述工艺按照特定的顺序且通常在特定的时间段内利用各种设备实现。晶圆制造厂(Fab)中的物料流系统的主要功能在于在正确时间点将晶圆传送到每一设备上，并追踪整个制造过程中晶圆的位置以及状态。

自动化物料搬运系统(AutomatedMaterialHandingSystem，AMHS)由于相对手动装置能更有效、一致、以及安全地实现自动化功能，因而近年来被广泛地用于物料流系统中。

当晶圆传送盒(Front Opening Unified Pod，FOUP)欲传送时，制造执行系统(Manufacturing Execution System，MES)将给出目标存储柜(Destination Stocker)，之后，制造执行系统向自动化物料搬运系统中的物料控制系统(Material Control System，MCS)发出传送命令，后者接受命令后，通知传送管理者执行该传送。上述执行该传送过程中，MES仅能将传输指令一条一条发送给MCS，MCS需要和MES多次进行交互，然而这需要较长时间周期且成本较大。

发明内容

因此，为了克服上述现有技术的缺点，本发明提供一种基于晶圆传送监管控制方法、系统、计算机设备和存储介质。

为了实现上述目的，本发明提供一种基于晶圆传送监管控制方法，包括：制造执行单元生成传输指令，所述传输指令携带有目标晶圆的传送信息，传输指令包含多条命令，多条命令根据指令序列共同组成第一传送路径；物料管控单元接收所述生产单元根据指令序列发送的所述传输指令；所述物料管控单元获取所述传输指令中所述目标晶圆的传输状态信息；所述物料管控单元根据所述传输状态信息对所述传送信息中的第一传送路径进行调整，并生成所述目标晶圆的目标传送路径，根据指令序列将目标传送路径发送给物料搬运单元；控制物料搬运单元根据所述物料管控单元发送来的目标传送路径对目标晶圆进行搬运。

在其中一个实施例中，所述根据所述传输状态信息对所述传送信息中的第一传送路径进行调整，并生成所述目标晶圆的目标传送路径，包括：识别所述传送信息中携带所述目标晶圆的第一传送路径、初始储存位置以及目的储存位置；获取由所有储存位置映射的路由节点列表，所述路由节点列表携带有与所述储存位置对应的路由节点的属性信息，所述属性信息包括存储状态信息和权重；基于所述存储状态信息从所述路由节点列表中筛选可暂时存储所述目标晶圆的传送路由节点；根据所述传送路由节点确定所述初始储存位置以及所述目的储存位置的第二传送路径，所述第二传送路径携带有各所述传送路由节点的当前等待时间和预估当前转移时间；将该第二传送路径与所述第一传送路径进行比对，生成所述目标晶圆的目标传送路径。

在其中一个实施例中，所述基于所述存储状态信息从所述路由节点列表中筛选可暂时存储所述目标晶圆的传送路由节点，包括：获取所述路由节点列表中状态为肯定状态的各所述路由节点的排队晶圆清单以及预设存储阈值；根据所述预设存储阈值、所述目标晶圆以及所述晶圆清单中的排队晶圆确定可暂时存储所述目标晶圆的传送路由节点，并将不可存储所述目标晶圆的路由节点在预设次数的传送周次中的状态设置为否定状态。