[发明专利]基于晶圆传送监管控制方法、系统、计算机设备和存储介质

权利要求书

1.一种基于晶圆传送监管控制方法，其特征在于，包括：

制造执行单元生成传输指令，所述传输指令携带有目标晶圆的传送信息，传输指令包含多条命令，多条命令根据指令序列共同组成第一传送路径；

物料管控单元接收生产单元根据所述指令序列发送的所述传输指令；

所述物料管控单元获取所述传输指令中所述目标晶圆的传输状态信息；

所述物料管控单元根据所述传输状态信息对所述传送信息中的第一传送路径进行调整，并生成所述目标晶圆的目标传送路径，根据指令序列将目标传送路径发送给物料搬运单元；

控制物料搬运单元根据所述物料管控单元发送来的目标传送路径对目标晶圆进行搬运。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述物料管控单元根据所述传输状态信息对所述传送信息中的第一传送路径进行调整，并生成所述目标晶圆的目标传送路径，包括：

识别所述传送信息中携带所述目标晶圆的第一传送路径、初始储存位置以及目的储存位置；

获取由所有储存位置映射的路由节点列表，所述路由节点列表携带有与所述储存位置对应的路由节点的属性信息，所述属性信息包括存储状态信息和权重；

基于所述存储状态信息从所述路由节点列表中筛选可暂时存储所述目标晶圆的传送路由节点；

根据所述传送路由节点确定所述初始储存位置以及所述目的储存位置的第二传送路径，所述第二传送路径携带有各所述传送路由节点的当前等待时间和预估当前转移时间；

将该第二传送路径与所述第一传送路径进行比对，生成所述目标晶圆的目标传送路径。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述基于所述存储状态信息从所述路由节点列表中筛选可暂时存储所述目标晶圆的传送路由节点，包括：

获取所述路由节点列表中状态为肯定状态的各所述路由节点的排队晶圆清单以及预设存储阈值；

根据所述预设存储阈值、所述目标晶圆以及所述晶圆清单中的排队晶圆确定可暂时存储所述目标晶圆的传送路由节点，并将不可存储所述目标晶圆的路由节点在预设次数的传送周次中的状态设置为否定状态。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述获取所述路由节点列表中状态为肯定状态的各所述路由节点的排队晶圆清单以及预设存储阈值之前，还包括：

接收发送来针对特定路由节点的关闭命令；

根据所述关闭命令对所述路由节点列表中的各所述特定路由节点的状态更新为否定状态。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述物料管控单元接收所述生产单元发送的所述传输指令，包括：

所述物料管控单元接收所述传输指令，将所述传输指令的状态信息设置为等待中，并将所述传输指令和所述状态信息进行对应存储；

所述物料管控单元根据所述物料搬运单元反馈的转移信息将所述传输指令的状态信息进行变更并存储。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，当所述物料搬运单元反馈传送发生故障时，所述物料管控单元根据故障信息确定故障起因；

当确定所述故障起因与存储目标晶圆的接收节点相关时，所述物料管控单元重新生成所述目标晶圆的目标传送路径；

控制物料搬运单元根据所述物料管控单元重新生成的目标传送路径对目标晶圆进行搬运。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，当确定所述故障起因与存储目标晶圆的接收节点相关时，所述物料管控单元重新生成所述目标晶圆的目标传送路径，包括：

获取所述接收节点附近的临时节点，并从所述传送信息中获取所述目标晶圆的目的储存位置；

根据所述临时节点、所述目的存储位置以及路由节点列表，所述物料管控单元重新生成所述目标晶圆的目标传送路径。