[发明专利]一种具有自限位和稳定夹持输送结构的槽式清洗机花篮有效
| 申请号： | 202210186938.1 | 申请日： | 2022-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN114256114B | 公开（公告）日： | 2022-05-20 |
| 发明（设计）人： | 宋裕华;王午阳 | 申请（专利权）人： | 智程半导体设备科技（昆山）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L21/677;H01L21/68;H01L21/687;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京市浩东律师事务所 11499 | 代理人： | 孙莉 |
| 地址： | 215316 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有自限位和稳定夹持输送结构的槽式清洗机花篮，包括与输送轨道滑动安装的支架，所述支架的端部下方设置有悬座，且所述悬座的下方活动安装有夹杆，并且所述悬座的下表面固定安装有电动推杆；还包括：篮体，固定夹持于所述夹杆的下端，所述篮体的外侧设置有槽体；托架，活动设置于所述托板的上表面；导柱，固定设置于所述托板的上表面边缘位置，所述导柱的上端外侧设置有浮板。该具有自限位和稳定夹持输送结构的槽式清洗机花篮可以便捷地对晶圆进行夹持定位，且可以进行稳定的缓震搬运，避免晶圆之间发生碰撞、损坏，且可以在清洁过程中利用浮力驱动晶圆进行旋转调节，从而实现全面清洗，实用性强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 限位 稳定 夹持 输送 结构 清洗 花篮 | ||
【主权项】：
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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