[发明专利]一种具有自限位和稳定夹持输送结构的槽式清洗机花篮

权利要求书

1.一种具有自限位和稳定夹持输送结构的槽式清洗机花篮，包括与输送轨道滑动安装的支架(1)，所述支架(1)的端部下方设置有悬座(2)，且所述悬座(2)的下方活动安装有夹杆(8)，并且所述悬座(2)的下表面固定安装有电动推杆(7)；

其特征在于，还包括：

篮体(10)，固定夹持于所述夹杆(8)的下端，所述篮体(10)的外侧设置有槽体(25)，且所述槽体(25)的上表面固定设置有立柱(26)，并且所述篮体(10)的中间位置轴承连接有活动筒(11)，同时所述活动筒(11)的外侧固定安装有托板(12)；

托架(16)，活动设置于所述托板(12)的上表面；

导柱(19)，固定设置于所述托板(12)的上表面边缘位置，所述导柱(19)的上端外侧设置有浮板(20)；

立架(22)，固定安装于所述托板(12)的上表面，所述立架(22)的外侧轴连接有驱动轮(23)；

所述浮板(20)的下表面固定连接有牵引绳(21)，且所述牵引绳(21)的另一端缠绕于所述驱动轮(23)的轴端，并且所述驱动轮(23)的轴端与立架(22)之间连接有扭力弹簧(24)。

2.根据权利要求1所述的一种具有自限位和稳定夹持输送结构的槽式清洗机花篮，其特征在于：所述悬座(2)的上表面开设有第一滑槽(3)，且所述第一滑槽(3)的内侧设置有第一滑块(4)，并且所述第一滑块(4)与第一滑槽(3)的内壁之间连接有第一弹簧(5)，同时所述第一滑块(4)与第一滑槽(3)构成滑动结构，而且所述第一滑块(4)与支架(1)的下端之间铰接有连杆(6)。

3.根据权利要求1所述的一种具有自限位和稳定夹持输送结构的槽式清洗机花篮，其特征在于：所述夹杆(8)关于悬座(2)对称设置有两个，且所述夹杆(8)与悬座(2)构成旋转结构，并且所述夹杆(8)与电动推杆(7)的杆体末端之间铰接有支撑杆(9)，同时所述夹杆(8)的下端与篮体(10)的上端之间相贴合，并且所述篮体(10)的上端外径大于其下端外径。

4.根据权利要求1所述的一种具有自限位和稳定夹持输送结构的槽式清洗机花篮，其特征在于：所述托架(16)围绕托板(12)的中轴线轴向等角度设置有多组，且每组所述托架(16)设置有两个，并且所述托架(16)的上表面开设有弧形结构的限位孔(17)，同时所述限位孔(17)与晶圆间隙配合。

5.根据权利要求1所述的一种具有自限位和稳定夹持输送结构的槽式清洗机花篮，其特征在于：所述托架(16)的下端设置有第二滑块(14)，所述托板(12)的上表面开设有第二滑槽(13)，所述第二滑块(14)与第二滑槽(13)之间构成滑动结构，且所述第二滑块(14)与第二滑槽(13)之间连接有第二弹簧(15)。

6.根据权利要求1所述的一种具有自限位和稳定夹持输送结构的槽式清洗机花篮，其特征在于：所述导柱(19)围绕托板(12)的中心轴线轴向等角度设置有四个，且所述导柱(19)贯穿所述浮板(20)，并且所述浮板(20)呈圆环状结构设置，同时所述浮板(20)与导柱(19)构成升降结构。

7.根据权利要求4所述的一种具有自限位和稳定夹持输送结构的槽式清洗机花篮，其特征在于：所述限位孔(17)的内侧轴连接有滚轮(18)，且所述滚轮(18)贴合于晶圆的弧壁。

8.根据权利要求1所述的一种具有自限位和稳定夹持输送结构的槽式清洗机花篮，其特征在于：所述立柱(26)与活动筒(11)间隙配合，且所述立柱(26)的外壁开设有导槽(27)，并且所述活动筒(11)的内壁嵌入安装有滚珠(28)，同时所述滚珠(28)与导槽(27)构成滑动结构。