[发明专利]一种具有自限位和稳定夹持输送结构的槽式清洗机花篮

说明书

本发明公开了一种具有自限位和稳定夹持输送结构的槽式清洗机花篮，包括与输送轨道滑动安装的支架，所述支架的端部下方设置有悬座，且所述悬座的下方活动安装有夹杆，并且所述悬座的下表面固定安装有电动推杆；还包括：篮体，固定夹持于所述夹杆的下端，所述篮体的外侧设置有槽体；托架，活动设置于所述托板的上表面；导柱，固定设置于所述托板的上表面边缘位置，所述导柱的上端外侧设置有浮板。该具有自限位和稳定夹持输送结构的槽式清洗机花篮可以便捷地对晶圆进行夹持定位，且可以进行稳定的缓震搬运，避免晶圆之间发生碰撞、损坏，且可以在清洁过程中利用浮力驱动晶圆进行旋转调节，从而实现全面清洗，实用性强。

技术领域

本发明涉及槽式清洗机花篮技术领域，具体为一种具有自限位和稳定夹持输送结构的槽式清洗机花篮。

背景技术

在晶圆加工过程中，需要使用槽式清洗机对晶圆表面进行清洗，而花篮是槽式清洗机中不可缺少的部件，其可以用来对晶圆工件进行有效的盛放、定位，从而便于对晶圆进行放置和取出，但是现有的槽式清洗机花篮仍存在着一些不足，比如：

1、现有的槽式清洗机花篮大多采用固定设置的板体来对晶圆进行限位，从而增加了晶圆放置过程中的难度，且不便清洗过程中对晶圆进行转动，使得晶圆与支撑体贴合面无法得到有效清洗，降低了晶圆的清洗效果；

2、现有的槽式清洗机花篮的结构固定，在提取过程中不便对晶圆外壁残留的水珠进行甩落，从而降低了晶圆后续的干燥效率，存在着一定的使用缺陷。

所以我们提出了一种具有自限位和稳定夹持输送结构的槽式清洗机花篮，以便于解决上述中提出的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种具有自限位和稳定夹持输送结构的槽式清洗机花篮，以解决上述背景技术提出的目前市场上槽式清洗机花篮大多采用固定设置的板体来对晶圆进行限位，从而增加了晶圆放置过程中的难度，且不便对清洗过程中对晶圆进行转动，使得晶圆与支撑体贴合面无法得到有效清洗，降低了晶圆的清洗效果和不便对晶圆外壁残留的水珠进行甩落，从而降低了晶圆后续的干燥效率的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种具有自限位和稳定夹持输送结构的槽式清洗机花篮，包括与输送轨道滑动安装的支架，所述支架的端部下方设置有悬座，且所述悬座的下方活动安装有夹杆，并且所述悬座的下表面固定安装有电动推杆；

还包括：

篮体，固定夹持于所述夹杆的下端，所述篮体的外侧设置有槽体，且所述槽体的上表面固定设置有立柱，并且所述篮体的中间位置轴承连接有活动筒，同时所述活动筒的外侧固定安装有托板；

托架，活动设置于所述托板的上表面；

导柱，固定设置于所述托板的上表面边缘位置，所述导柱的上端外侧设置有浮板；

立架，固定安装于所述托板的上表面，所述立架的外侧轴连接有驱动轮。

优选的，所述悬座的上表面开设有第一滑槽，且所述第一滑槽的内侧设置有第一滑块，并且所述第一滑块与第一滑槽的内壁之间连接有第一弹簧，同时所述第一滑块与第一滑槽构成滑动结构，而且所述第一滑块与支架的下端之间铰接有连杆。

通过采用上述技术方案，使得支架在移动过程中产生震动时，第一滑块会沿第一滑槽滑动并挤压第一弹簧，从而利用第一弹簧的弹力对悬座进行支撑，进而确保篮体可以运动的进行输送。

优选的，所述夹杆关于悬座对称设置有两个，且所述夹杆与悬座构成旋转结构，并且所述夹杆与电动推杆的杆体末端之间铰接有支撑杆，同时所述夹杆的下端与篮体的上端之间相贴合，并且所述篮体的上端外径大于其下端外径。

通过采用上述技术方案，使得电动推杆进行伸缩调节时，可以通过支撑杆推动夹杆进行旋转，从而使得两个夹杆可以对篮体的上端进行夹持，进而实现对篮体的平稳输送。