[发明专利]基板位置控制方法和基板处理系统在审
| 申请号： | 202210176155.5 | 申请日： | 2022-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN115027943A | 公开（公告）日： | 2022-09-09 |
| 发明（设计）人： | 植松治志;三浦知久 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | B65G47/90 | 分类号： | B65G47/90;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板位置控制方法和基板处理系统。基板位置控制方法包括以下工序：第一计算工序，参照存储部来计算差分信息，存储部存储用于对向第一处理室和第二处理室搬送的基板进行位置调整的第一位置调整信息和第二位置调整信息，差分信息表示将基于第一位置调整信息被调整了位置的基板搬送至第二处理室的情况下的位置与将基于第二位置调整信息被调整了位置的基板搬送至第二处理室的情况下的位置之间的旋转方向偏移和伸缩方向偏移；第二计算工序，计算用于校正旋转方向偏移的旋转校正值；以及第三计算工序，计算伸缩校正值，该伸缩校正值用于校正伸缩方向偏移、以及由于根据旋转校正值校正基板的位置而产生的、旋转校正所引起的偏移。 | ||
| 搜索关键词： | 位置 控制 方法 处理 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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