[发明专利]基板位置控制方法和基板处理系统

权利要求书

1.一种基板位置控制方法，是基板处理系统的基板位置控制方法，所述基板处理系统具有：搬送室，其具有搬送机构，该搬送机构通过控制旋转角度的旋转控制和控制伸缩距离的伸缩控制来进行基板的搬送；第一处理室，其与所述搬送室连接；第二处理室，其与所述搬送室连接；以及加载互锁室，其与所述搬送室连接，所述加载互锁室具有进行所述基板的位置调整的位置调整机构，所述基板位置控制方法包括以下工序：

第一计算工序，参照存储部来计算差分信息，所述存储部存储用于对从所述加载互锁室向所述第一处理室搬送的所述基板进行位置调整的第一位置调整信息和用于对从所述加载互锁室向所述第二处理室搬送的所述基板进行位置调整的第二位置调整信息，所述差分信息表示将基于所述第一位置调整信息被调整了位置的所述基板搬送至所述第二处理室的情况下的位置与将基于所述第二位置调整信息被调整了位置的所述基板搬送至所述第二处理室的情况下的位置之间的、旋转方向上的旋转方向偏移和伸缩方向上的伸缩方向偏移；

第二计算工序，计算用于校正所述差分信息所表示的所述旋转方向偏移的所述旋转角度的旋转校正值；以及

第三计算工序，计算伸缩校正值，该伸缩校正值用于校正所述差分信息所表示的所述伸缩方向偏移、以及由于根据所述旋转校正值在所述旋转方向上校正所述基板的位置而在伸缩方向上产生的、旋转校正所引起的偏移。

2.根据权利要求1所述的基板位置控制方法，其特征在于，

在所述第二计算工序中，在从所述第一处理室向所述第二处理室搬送所述基板的情况下，通过在所述旋转角度的可校正的数值范围中检索出使所述旋转方向的偏移减少的所述旋转角度的二分法检索，来计算所述旋转校正值。

3.根据权利要求2所述的基板位置控制方法，其特征在于，

在所述第二计算工序中，通过将以下的处理重复预先决定的次数来计算所述旋转校正值，该处理是：将所述可校正的数值范围设为检索范围，获取所述检索范围的最大值、所述检索范围的最小值、以及所述最大值与所述最小值之间的中央值，计算从所述中央值起在所述旋转方向上向所述最大值侧或所述最小值侧错开与预先决定出的探索值相应的量后的暂定值，根据在基于所述中央值使所述基板在所述旋转方向上错开了的情况下所述旋转方向偏移被校正的量与在基于所述暂定值使所述基板在所述旋转方向上错开了的情况下所述旋转方向偏移被校正的量之间的比较结果来缩小所述检索范围，并基于该缩小后的所述检索范围来更新所述最大值、所述最小值以及所述中央值。

4.根据权利要求2所述的基板位置控制方法，其特征在于，

在所述第二计算工序中，重复进行以下处理，该处理是：将所述可校正的数值范围设为检索范围，获取所述检索范围的最大值、所述检索范围的最小值、以及所述最大值与所述最小值之间的中央值，计算从所述中央值起在所述旋转方向上向所述最大值侧或所述最小值侧错开与预先决定出的探索值相应的量后的暂定值，根据在基于所述中央值使所述基板在所述旋转方向上错开了的情况下所述旋转方向偏移被校正的量与在基于所述暂定值使所述基板在所述旋转方向上错开了的情况下所述旋转方向偏移被校正的量之间的比较结果来缩小所述检索范围，并基于该缩小后的所述检索范围来更新所述最大值、所述最小值以及所述中央值，在所述第二计算工序中，当在重复进行以上处理时无论将所述检索范围向所述最大值侧和所述最小值侧中的哪一侧缩小，被校正的量都不再发生变化的情况下，将所述中央值和所述暂定值中的某一方计算为所述旋转校正值。

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的基板位置控制方法，其特征在于，还包括以下工序：

位置调整工序，所述位置调整机构基于所述第一位置调整信息来调整所述基板的位置；

第一搬送工序，在进行了所述位置调整工序之后，所述搬送机构将所述基板搬送至所述第一处理室；以及

第二搬送工序，在所述搬送机构将所述基板从所述第一处理室向所述第二处理室搬送时，基于所述旋转校正值和所述伸缩校正值来校正所述基板的位置。