[发明专利]基板位置控制方法和基板处理系统

说明书

本发明提供一种基板位置控制方法和基板处理系统。基板位置控制方法包括以下工序：第一计算工序，参照存储部来计算差分信息，存储部存储用于对向第一处理室和第二处理室搬送的基板进行位置调整的第一位置调整信息和第二位置调整信息，差分信息表示将基于第一位置调整信息被调整了位置的基板搬送至第二处理室的情况下的位置与将基于第二位置调整信息被调整了位置的基板搬送至第二处理室的情况下的位置之间的旋转方向偏移和伸缩方向偏移；第二计算工序，计算用于校正旋转方向偏移的旋转校正值；以及第三计算工序，计算伸缩校正值，该伸缩校正值用于校正伸缩方向偏移、以及由于根据旋转校正值校正基板的位置而产生的、旋转校正所引起的偏移。

技术领域

本公开涉及一种基板位置控制方法和基板处理系统。

背景技术

以往，在基板处理系统设置有：搬送室，其设置有用于搬送基板的搬送装置；多个处理室，所述多个处理室配置于搬送室的周围；以及经由闸阀的加载互锁室，所述闸阀开闭自如，以使无需在每次向处理室内搬送基板和从处理室内搬出基板时将处理室从真空恢复为常压。加载互锁室能够在真空与常压之间进行切换。在基板处理系统中，搬送装置进行加载互锁室、真空搬送室、各基板处理室之间的基板的搬送。例如，在将基板搬入加载互锁室并使加载互锁室内与真空处理室同样地成为真空之后，搬送装置将基板搬送至真空处理室内。

在加载互锁室设置有用于调整基板的位置的位置调整机构。因此，提出如下一种技术：在基板处理系统中，在从加载互锁室向处理室搬送基板时，通过设置于加载互锁室的位置调整机构来进行与作为搬送目的地的处理室相应的位置调整(例如参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2006-324366号公报

发明内容

发明要解决的问题

根据本公开，提供一种不经由加载互锁室地对从一个处理室向另一个处理室搬送的基板进行位置校正的技术。

用于解决问题的方案

本公开的一个方式的基板位置控制方法是基板处理系统的基板位置控制方法，所述基板处理系统具有：搬送室，其具有搬送机构，该搬送机构通过控制旋转角度的旋转控制和控制伸缩距离的伸缩控制来进行基板的搬送；第一处理室，其与搬送室连接；第二处理室，其与搬送室连接；以及加载互锁室，其与搬送室连接，所述加载互锁室具有进行基板的位置调整的位置调整机构，所述基板位置控制方法包括以下工序：第一计算工序，参照存储部来计算差分信息，所述存储部存储用于对从加载互锁室向第一处理室搬送的基板进行位置调整的第一位置调整信息和用于对从加载互锁室向第二处理室搬送的基板进行位置调整的第二位置调整信息，所述差分信息表示将基于第一位置调整信息被调整了位置的基板搬送至第二处理室的情况下的位置与将基于第二位置调整信息被调整了位置的基板搬送至第二处理室的情况下的位置之间的、旋转方向上的旋转方向的偏移和伸缩方向上的伸缩方向的偏移；第二计算工序，计算用于校正差分信息所表示的旋转方向偏移的旋转校正值；以及第三计算工序，计算伸缩校正值，该伸缩校正值用于校正差分信息所表示的伸缩方向偏移、以及由于根据旋转校正值在旋转方向上校正基板的位置而在伸缩方向上产生的、旋转校正所引起的偏移。

发明的效果

根据本公开，能够不经由加载互锁室地对从一个处理室向另一个处理室搬送的基板进行位置校正。

附图说明

图1是表示第一实施方式所涉及的基板处理系统的结构例的立体图。

图2是第一实施方式所涉及的基板处理系统的俯视图。

图3是表示第一实施方式所涉及的搬送机构的结构例的立体图。

图4是例示出在第一实施方式所涉及的控制器中实现的功能结构的框图。