[发明专利]一种压接式IGBT功率循环中微动位移测量装置及方法有效
| 申请号： | 202210175234.4 | 申请日： | 2022-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN114543682B | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 安彤;郑学恒;张亚昆;周瑞;秦飞 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京东方盛凡知识产权代理事务所(普通合伙) 11562 | 代理人： | 李瑞雨 |
| 地址： | 100124 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种压接式IGBT功率循环中微动位移测量装置及方法，包括：支架；滑杆，滑动安装在支架上，且沿支架周向方向设置至少四个；传感器，分别滑动安装在支架和滑杆上；功率循环实验装置，设置在支架的内部，采用非接触式原位测量，在测量过程中不对功率循环实验产生影响，且功率循环实验中的电热变化不会损坏测量设备，具有较高测量精度及较快的动态响应；本发明设计了在支架上的两个零位传感器用于测量实验中的实时位移零位，可以规避由实验中水箱振动等问题产生的大位移带来的影响，本发明设计了滑杆上的四个位移传感器对射观测原位微动位移，可以通过微动位移计算方法有效区分微滑动及热膨胀变形的数值和角度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压接式 igbt 功率 循环 微动 位移 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
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