[发明专利]改善显示背板刻蚀工艺的方法在审
| 申请号： | 202210174061.4 | 申请日： | 2022-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN114551773A | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 李淳东;陈兵;杨云华;夏麒帆;吉永城 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;重庆京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56;H01L21/67;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 胡艳华;曲鹏 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本文公开一种改善显示背板刻蚀工艺的方法，包括：在通过支撑柱加载显示背板前，调整支撑柱的高度使支撑柱的顶面和电极的顶面在同一个平面内，模拟刻蚀显示背板时提供的磁场环境，给支撑柱和电极通电，调节支撑柱的供电参数直至目标区域内的电场和/或磁场强度达到均匀性标准，记录最终确定的支撑柱供电参数；通过支撑柱加载显示背板，调整支撑柱的高度使支撑柱的顶面和电极的顶面在同一平面内，给电极通电以吸附背板，根据之前确定的支撑柱供电参数给支撑柱通电以产生电场和/或磁场，在显示背板进行刻蚀的过程中持续给支撑柱和电极供电；其中，电极的顶面和支撑柱的顶面是与显示背板接触的接触面。本文提供的方法能改善显示背板的刻蚀均一性。 | ||
| 搜索关键词： | 改善 显示 背板 刻蚀 工艺 方法 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
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