[发明专利]改善显示背板刻蚀工艺的方法

权利要求书

1.一种改善显示背板刻蚀工艺的方法，包括：

在通过支撑柱加载显示背板前，调整所述支撑柱的高度使所述支撑柱的顶面和电极的顶面在同一个平面内，模拟刻蚀显示背板时提供的磁场环境，给所述支撑柱和所述电极通电，调节所述支撑柱的供电参数直至目标区域内的电场强度和/或磁场强度达到均匀性标准，调节结束后断电，记录最终确定的支撑柱供电参数；其中，所述电极环绕所述支撑柱且二者相互不接触；

通过支撑柱加载显示背板，调整所述支撑柱的高度使所述支撑柱的顶面和所述电极的顶面在同一个平面内，给所述电极通电以吸附所述显示背板，根据之前确定的支撑柱供电参数给所述支撑柱通电以产生电场和/或磁场，在显示背板进行刻蚀的过程中持续给所述支撑柱和所述电极供电；其中，电极的顶面和支撑柱的顶面是与显示背板接触的接触面。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于：

所述给所述支撑柱和所述电极通电，包括：

在支撑柱的柱体外部设置绝缘层，在所述绝缘层外部缠绕电磁感应线圈；其中，所述支撑柱包括柱头和柱体；所述柱头采用绝缘材料，所述柱体采用导电材料；

利用第一直流电源为所述电极加载电压，利用第二直流电源为所述电磁感应线圈提供电流。

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于：

调节所述支撑柱的供电参数直至目标区域内的磁场强度达到均匀性标准，包括：

在所述目标区域内设置多个测试点，测量每一个测试点的磁场强度；

调节流经所述电磁感应线圈的电流的大小和方向，当所述目标区域内的磁场强度达到均匀性标准时结束调节。

4.如权利要求3所述的方法，其特征在于：

所述调节流经所述电磁感应线圈的电流的大小和方向，包括：

将所述电磁感应线圈与可变电阻串联，通过第二直流电源为所述电磁感应线圈和可变电阻供电；

调整可变电阻的阻值以改变流经所述电磁感应线圈的电流的大小；

将所述第二直流电源正接或反接以改变流经所述电磁感应线圈的电流的方向。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于：

所述给所述支撑柱和所述电极通电，包括：

在支撑柱的柱体外部设置绝缘层；其中，所述支撑柱包括柱头和柱体；所述柱头采用导电材料，所述柱体采用导电材料；

利用第一直流电源为所述电极加载第一电压，利用第二直流电源为所述支撑柱加载第二电压。

6.如权利要求5所述的方法，其特征在于：

调节所述支撑柱的供电参数直至目标区域内的电场强度达到均匀性标准，包括：

在所述目标区域内设置多个测试点，测量每一个测试点的电场强度；

调节第二直流电源的输出电压，当所述目标区域内的电场强度达到均匀性标准时结束调节。

7.如权利要求1所述的方法，其特征在于：

所述给所述支撑柱和所述电极通电，包括：

在支撑柱的柱体外部设置绝缘层，在所述绝缘层外部缠绕电磁感应线圈；其中，所述支撑柱包括柱头和柱体；所述柱头采用导电材料，所述柱体采用导电材料；

利用第一直流电源为所述电极加载电压，利用第二直流电源为所述支撑柱加载第二电压，利用第三直流电源为所述电磁感应线圈提供电流。

8.如权利要求7所述的方法，其特征在于：

所述调节所述支撑柱的供电参数直至目标区域内的电场强度和磁场强度达到均匀性标准，包括：

在所述目标区域内设置多个测试点，测量每一个测试点的磁场强度和电场强度；

调节第二直流电源的输出电压，并且调节流经所述电磁感应线圈的电流的大小和方向，当所述目标区域内的电场强度和磁场强度达到均匀性标准时结束调节。

9.如权利要求1-8中任一项所述的方法，其特征在于：

所述目标区域包括支撑柱的顶面区域及其周边区域，所述周边区域是靠近所述支撑柱的顶面的电极的顶面区域。