[发明专利]纯化设备及热场配件纯化方法在审
| 申请号： | 202210166652.7 | 申请日： | 2022-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN114950308A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 张仲升;中西正美;苏玉圣;朱彦勋;吴用吉;范义华 | 申请（专利权）人： | 环球晶圆股份有限公司 |
| 主分类号： | B01J19/14 | 分类号： | B01J19/14;C01B33/037;C01B32/215;C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 王侠 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种纯化设备及配合其实施的一种热场配件纯化方法，纯化设备用来去除设置于纯化设备内侧的至少一个热场配件上的金属杂质。纯化设备包括一高温炉、设置于高温炉内侧的一密闭盒、连接于高温炉与密闭盒的一外管、设置于外管的内侧的一内管、连接于外管的一进气盖、设置于进气盖与外管之间的一第一密封件、以及环绕内管设置的一第二密封件。高温炉包含一炉体、一炉盖及设置于炉体内侧的一热场模块，进气盖能通过内管向密闭盒输入一惰性气体，热场模块用来加热惰性气体以使杂质由于被惰性气体加热而汽化。借此，将热场配件纯化后并再次利用，以降低切换或调整产品工艺所造成的成本损失。 | ||
| 搜索关键词： | 纯化 设备 配件 方法 | ||
【主权项】：
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