[发明专利]纯化设备及热场配件纯化方法

权利要求书

1.一种纯化设备，其特征在于，所述纯化设备用来去除至少一个热场配件上的杂质，所述纯化设备包括：

一高温炉，包含一炉体、安装于所述炉体的一炉盖、及设置于所述炉体的内侧的一热场模块；

一密闭盒，设置于所述热场模块的内侧，并且所述密闭盒包含一盒体以及能拆卸地安装于所述盒体的一盒盖；其中，所述盒体用来容纳至少一个所述热场配件；

一外管，设置成穿过所述炉盖，并且所述外管包含一第一外管口、一第二外管口及一第三外管口；其中，所述第一外管口与所述第二外管口设置于所述炉盖相对远离所述炉体的一侧，而所述第三外管口连接于所述盒盖；

一内管，与所述外管间隔开地设置于所述外管的内侧，并且所述内管包含一第一内管口与一第二内管口；以及

一进气盖，连接于所述第一外管口，并且所述进气盖能通过所述内管向所述密闭盒输入一惰性气体；其中，所述热场模块用来加热位于所述密闭盒中的所述惰性气体以使所述杂质由于被所述惰性气体加热而汽化。

2.根据权利要求1所述的纯化设备，其特征在于，所述纯化设备还包含一第一密封件与一第二密封件，所述第一密封件设置于所述进气盖与所述第一外管口之间的连接处，所述第二密封件环绕所述内管设置。

3.根据权利要求2所述的纯化设备，其特征在于，所述第二密封件的位置对应于所述进气盖与所述第一外管口之间的连接处。

4.根据权利要求1所述的纯化设备，其特征在于，所述纯化设备还包含一抽气装置，所述抽气装置连接于所述第二外管口，并且所述抽气装置用来通过所述第二外管口抽取所述惰性气体以及汽化的所述杂质。

5.根据权利要求1所述的纯化设备，其特征在于，所述第二内管口邻近所述密闭盒的底部设置，所述内管还包含一出气管，并且所述出气管连接于所述第二内管口；其中，所述出气管能用来将所述惰性气体均匀地分布于所述密闭盒中。

6.根据权利要求5所述的纯化设备，其特征在于，所述出气管呈X字形，并且所述出气管具有用来排放所述惰性气体的多个出气孔。

7.根据权利要求1所述的纯化设备，其特征在于，所述进气盖与所述内管于空间上连通以形成一气密空间。

8.根据权利要求1所述的纯化设备，其特征在于，所述盒盖包含一顶面以及连接于所述顶面的多个侧面，并且任一个所述侧面的高度大于所述盒体的高度。

9.一种热场配件纯化方法，其特征在于，所述热场配件纯化方法用来配合根据权利要求1的所述纯化设备实施，所述热场配件纯化方法包括：

一进气步骤，使所述惰性气体从所述第一内管口经由所述内管进入设置有至少一个所述热场配件的所述密闭盒中，以使所述惰性气体充斥于所述密闭盒中；以及

一加热步骤，使所述热场模块对所述密闭盒内的所述惰性气体进行加热，以使所述惰性气体的温度介于1400摄氏度～1500摄氏度，继而使所述杂质由于被所述惰性气体加热而汽化。

10.根据权利要求9所述的热场配件纯化方法，其特征在于，所述热场配件纯化方法还包含一抽气步骤，使一抽气装置通过所述第二内管口对所述密闭盒进行抽气以使所述密闭盒内呈负压，并且使所述密闭盒内的压力不大于5帕斯卡，继而使所述惰性气体与呈气态的所述杂质被所述抽气装置抽出。