[发明专利]一种用于陶瓷封装体的孤导引镀工艺在审
| 申请号: | 202210151557.X | 申请日: | 2022-02-18 |
| 公开(公告)号: | CN114724957A | 公开(公告)日: | 2022-07-08 |
| 发明(设计)人: | 林智杰;余咏梅;常发;张惠华;洪春福;王羽;陈洪祥;张南菊;戴品强;傅建树;陈程;周水芳 | 申请(专利权)人: | 福建闽航电子有限公司;福建工程学院 |
| 主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48;B24B19/22;B24B41/06;B24B55/00 |
| 代理公司: | 福州市鼓楼区京华专利事务所(普通合伙) 35212 | 代理人: | 林云娇 |
| 地址: | 353000 福*** | 国省代码: | 福建;35 |
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| 摘要: | 本发明提供一种用于陶瓷封装体的孤导引镀工艺,包括:配制陶瓷浆料,之后注入流延机进行流延,形成生坯带材,之后将生坯带材切割成板坯;将每个板胚进行冲孔、注浆,并在每个板坯上印刷对应的线路,之后再进行层压,切割;板坯上分别印刷线路,使得一底片上将所需引线金属化引出,冲孔使得该底片上的孤导区与另一底片连通,使得孤导区从另一底片引出导通;进行端头印刷,将所述引线与孤导以及封接区金属化相连;并进行烧结;进行化学镀镍,装配钎焊以及电镀,最后将端头进行打磨,得到陶瓷封装体;使得得键合区,芯片粘结区上不存在凸点。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 用于 陶瓷封装 导引 工艺 | ||
【主权项】:
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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