[发明专利]过滤装置及光刻胶废液再生系统在审
| 申请号： | 202210150461.1 | 申请日： | 2022-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN114470930A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 黄政尚;韩永霖;林锦昆;沈军;郑义承 | 申请（专利权）人： | 福建钰融科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D29/50 | 分类号： | B01D29/50;B01D29/60;B01D36/00;G03F7/30 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 李珊珊 |
| 地址： | 350309 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种过滤装置及废液再生系统，包括过滤器、进料管、出料管、检测件和控制件，其中，进料管、过滤器和出料管沿废液流动的方向依次连通；过滤器包括第一过滤件和第二过滤件，设有第一阀门的第一管道连通第一过滤件和第二过滤件，进料管和出料管均与第一过滤件和第二过滤件连接，进料管上设有进料阀，出料管上设有出料阀；检测件与控制件电连接，检测件用于检测过滤前后废液的固含量，并将固含量的结果传送至控制件，控制件与第一阀门、进料阀和出料阀电连接，用于根据固含量的结果控制第一阀门、进料阀和出料阀的开关，通过使过滤装置满足上述结构，有利于提升过滤效率且避免杂质堵塞。 | ||
| 搜索关键词： | 过滤 装置 光刻 废液 再生 系统 | ||
【主权项】：
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