[发明专利]过滤装置及光刻胶废液再生系统

权利要求书

1.一种过滤装置，其特征在于，所述过滤装置用于过滤光刻胶废液；

所述过滤装置包括过滤器、进料管、出料管、检测件和控制件；

所述进料管、所述过滤器和所述出料管沿废液流动的方向依次连通；

所述过滤器包括第一过滤件和第二过滤件；第一管道连通所述第一过滤件和所述第二过滤件，所述第一管道设有第一阀门，所述第一阀门用于切换所述第一过滤件与所述第二过滤件的连通状态；

所述进料管和所述出料管均与所述第一过滤件和所述第二过滤件连接，所述进料管用于输送所述废液，所述出料管用于输送滤液，所述进料管上设有进料阀，所述出料管上设有出料阀，所述进料阀和所述出料阀分别用于切换所述进料管和所述出料管与所述第一过滤件和所述第二过滤件的连通状态；

所述检测件与所述控制件电连接，所述检测件用于检测所述废液和所述滤液的固含量，并将所述固含量的结果传送至所述控制件，所述控制件与所述第一阀门、所述进料阀和所述出料阀电连接，所述控制件用于根据所述固含量的结果控制所述第一阀门、所述进料阀和所述出料阀的开关。

2.如权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，所述第一过滤件和所述第二过滤件的过滤精度不同。

3.如权利要求2所述的过滤装置，其特征在于，所述过滤器还包括第三过滤件，所述进料管和所述出料管均与所述第三过滤件连通，第二管道连通所述第三过滤件与所述第二过滤件，所述第二管道上设有第二阀门，所述第二阀门与所述控制件电连接，所述第二阀门用于切换所述第二过滤件与所述第三过滤件的连通状态。

4.如权利要求3所述的过滤装置，其特征在于，所述第一管道还连通所述第三过滤件与所述第一过滤件，所述第一阀门用于切换所述第一过滤件与所述第二过滤件和所述第三过滤件的连通状态。

5.如权利要求3或4所述的过滤装置，其特征在于，所述第一过滤件、所述第二过滤件和所述第三过滤件的过滤精度均不相同。

6.如权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，所述检测件用于检测所述进料阀处所述废液的固含量，所述检测件还用于检测所述第一阀门处和所述出料阀处所述滤液的固含量。

7.如权利要求3或4所述的过滤装置，其特征在于，所述检测件用于检测所述进料阀处所述废液的固含量，所述检测件还用于检测所述第一阀门处、所述第二阀门处和所述出料阀处所述滤液的固含量。

8.如权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，所述过滤器还包括第三过滤件，所述进料管和所述出料管均与所述第三过滤件连通，第二管道连通所述第三过滤件与所述第二过滤件，所述第二管道上设有第二阀门，所述第二阀门与所述控制件电连接，用于切换所述第二过滤件与所述第三过滤件的连通状态；

所述第一过滤件、所述第二过滤件和所述第三过滤件的过滤精度相同，且废液处理量均不相同。

9.如权利要求8所述的过滤装置，其特征在于，所述检测件用于检测所述进料阀处所述废液的固含量，所述检测件还用于检测所述出料阀处所述滤液的固含量。

10.一种光刻胶废液再生系统，其特征在于，包括储罐、精馏塔和如权利要求1-9任一项所述的过滤装置，所述储罐、所述过滤装置和所述精馏塔沿废液流动的方向依次连通，所述储罐和所述精馏塔分别用于储存和提纯需要再生的废液。