[发明专利]过滤装置及光刻胶废液再生系统

说明书

本发明提供了一种过滤装置及废液再生系统，包括过滤器、进料管、出料管、检测件和控制件，其中，进料管、过滤器和出料管沿废液流动的方向依次连通；过滤器包括第一过滤件和第二过滤件，设有第一阀门的第一管道连通第一过滤件和第二过滤件，进料管和出料管均与第一过滤件和第二过滤件连接，进料管上设有进料阀，出料管上设有出料阀；检测件与控制件电连接，检测件用于检测过滤前后废液的固含量，并将固含量的结果传送至控制件，控制件与第一阀门、进料阀和出料阀电连接，用于根据固含量的结果控制第一阀门、进料阀和出料阀的开关，通过使过滤装置满足上述结构，有利于提升过滤效率且避免杂质堵塞。

技术领域

本发明涉及废液回收领域，尤其涉及一种过滤装置及光刻胶废液再生系统。

背景技术

随着电子制造产业的迅速发展，在生产过程中产生的废液也大幅度增加，为了保护环境、节约成本、并有效回收废液中的有效物质，会对废液进行收集处理。然而，目前的处理方法一般为使用抽送泵将废液抽送至过滤器进行简单的过滤，且在过滤的过程中，无法控制过滤进程，因此无论是否在过滤过程中已达到过滤要求，废液均需要穿过整个过滤器进行过滤，导致过滤效率低，且废液中的杂质容易堵塞过滤器。

发明内容

本发明的目的是提供一种过滤装置及废液再生系统，解决现有技术中废液需要穿过整个过滤器进行过滤，导致过滤效率低，且废液中的杂质容易堵塞过滤器的问题。

为实现本发明的目的，本发明提供了如下的技术方案：

第一方面，本发明提供了一种过滤装置，所述过滤装置用于过滤光刻胶废液，包括过滤器、进料管、出料管、检测件和控制件；所述进料管、所述过滤器和所述出料管沿废液流动的方向依次连通；所述过滤器包括第一过滤件和第二过滤件；第一管道连通所述第一过滤件和所述第二过滤件，所述第一管道设有第一阀门，所述第一阀门用于切换所述第一过滤件与所述第二过滤件的连通状态；所述进料管和所述出料管均与所述第一过滤件和所述第二过滤件连接，所述进料管用于输送所述废液，所述出料管用于输送滤液，所述进料管上设有进料阀，所述出料管上设有出料阀，所述进料阀和所述出料阀分别用于切换所述进料管和所述出料管与所述第一过滤件和所述第二过滤件的连通状态；所述检测件与所述控制件电连接，所述检测件用于检测所述废液和所述滤液的固含量，并将所述固含量的结果传送至所述控制件，所述控制件与所述第一阀门、所述进料阀和所述出料阀电连接，所述控制件用于根据所述固含量的结果控制所述第一阀门、所述进料阀和所述出料阀的开关。

一种实施方式中，所述第一过滤件和所述第二过滤件的过滤精度不同。

一种实施方式中，所述过滤器还包括第三过滤件，所述过滤器还包括第三过滤件，所述进料管和所述出料管均与所述第三过滤件连通，第二管道连通所述第三过滤件与所述第二过滤件，所述第二管道上设有第二阀门，所述第二阀门与所述控制件电连接，所述第二阀门用于切换所述第二过滤件与所述第三过滤件的连通状态。

一种实施方式中，所述第一管道还连通所述第三过滤件与所述第一过滤件，所述第一阀门用于切换所述第一过滤件与所述第二过滤件和所述第三过滤件的连通状态。

一种实施方式中，所述第一过滤件、所述第二过滤件和所述第三过滤件的过滤精度均不相同。

一种实施方式中，所述检测件用于检测所述进料阀处所述废液的固含量，所述检测件还用于检测所述第一阀门处和所述出料阀处所述滤液的固含量。

一种实施方式中，所述检测件用于检测所述进料阀处所述废液的固含量，所述检测件还用于检测所述第一阀门处、所述第二阀门处和所述出料阀处所述滤液的固含量。

一种实施方式中，所述过滤器还包括第三过滤件，所述进料管和所述出料管均与所述第三过滤件连通，第二管道连通所述第三过滤件与所述第二过滤件，所述第二管道上设有第二阀门，所述第二阀门与所述控制件电连接，用于切换所述第二过滤件与所述第三过滤件的连通状态；所述第一过滤件、所述第二过滤件和所述第三过滤件的过滤精度相同，且溶液处理量均不相同。