[发明专利]衬底处理装置在审
| 申请号： | 202210127733.6 | 申请日： | 2022-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN114941803A | 公开（公告）日： | 2022-08-26 |
| 发明（设计）人： | 金成培 | 申请（专利权）人： | ASMIP私人控股有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/04 | 分类号： | F17D1/04;F17D3/01;F17D5/02;F16K37/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 焦玉恒 |
| 地址： | 荷兰阿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种能够检测气体泄漏的衬底处理装置，包括至少一个反应器；气体供应单元，其配置为向反应器供应气体；以及连接到气体供应单元的检测单元，其中检测单元配置为检测气体供应单元中的气体流动。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 处理 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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