[发明专利]信息处理装置、信息处理方法以及物品的制造方法在审
| 申请号： | 202210096981.9 | 申请日： | 2022-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN114859663A | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 根谷尚稔;铃木彻;山本将志;米田慎吾;黑泽良昭;日置真则 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G06N20/00 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 程晨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及信息处理装置、信息处理方法以及物品的制造方法。【课题】缩短装置中的异常的原因分析的时间。【解决手段】一种信息处理装置，累积对基板进行处理的基板处理装置中的日志，信息处理装置具有：累积部，累积日志；控制部，以从累积于所述累积部的日志中选择特定的日志的方式进行控制；以及发送部，将由所述控制部选择的日志发送给外部，所述控制部当在所述基板处理装置中发生了错误时，根据已学习模型，选择累积于所述累积部的日志中的相关度超过阈值的日志。 | ||
| 搜索关键词： | 信息处理 装置 方法 以及 物品 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
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