[发明专利]信息处理装置、信息处理方法以及物品的制造方法

说明书

本公开涉及信息处理装置、信息处理方法以及物品的制造方法。【课题】缩短装置中的异常的原因分析的时间。【解决手段】一种信息处理装置，累积对基板进行处理的基板处理装置中的日志，信息处理装置具有：累积部，累积日志；控制部，以从累积于所述累积部的日志中选择特定的日志的方式进行控制；以及发送部，将由所述控制部选择的日志发送给外部，所述控制部当在所述基板处理装置中发生了错误时，根据已学习模型，选择累积于所述累积部的日志中的相关度超过阈值的日志。

技术领域

本发明涉及信息处理装置、信息处理方法以及物品的制造方法。

背景技术

在使用光刻技术制造液晶面板等显示元件、半导体元件时，传统上使用曝光装置。曝光装置能够通过将描绘于原版(例如掩模、中间掩模等)的图案投影到基板(例如玻璃基板、晶片等)来转印图案。

曝光装置由多种驱动单元以及测量单元构成，与曝光处理有关的大量的数据被累积为日志(log)。累积的日志在发生了装置的故障、与曝光处理有关的性能的降低等异常时，被用于异常的原因分析。在专利文献1中，公开了以下内容：为了判断装置的故障，生成作为用于根据收集的日志进行故障的诊断的已学习模型的诊断模型，进行装置的故障诊断。

专利文献

专利文献1：日本特开2019-213192号公报

发明内容

然而，在发生与曝光处理有关的性能的降低的情况下，操作曝光装置的操作员需要选择与异常状态相关联的日志并发送给解析负责人。伴随曝光装置的高性能化，要累积的日志的种类、数据量有时也增大，在与装置的异常相关联的日志的选择中，需要专门的知识、经验。其结果，有可能操作员将与异常的关联性不太高的日志发送给解析负责人，解析负责人难以解析异常。

在如上所述的情况下，需要解析负责人请求操作员追加发送需要的日志，操作员依照该请求再次发送日志，所以在异常的原因解析中花费很多的时间。另外，虽然还考虑将累积的所有日志(或者比认为所需要的更多的日志)发送给解析负责人这样的方法，但可能存在由于网络的频带、顾客的安全等制约而无法向解析负责人发送大量的日志这样的状况。或者，存在由于进行大量的数据的发送而花费很多的时间这样的可能性。

因此，本发明的目的在于提供一种对装置中的异常的原因分析的时间缩短有利的信息处理装置。

发明内容

为了达成上述目的，作为本发明的一个侧面的信息处理装置累积对基板进行处理的基板处理装置中的日志，所述信息处理装置的特征在于，具有：累积部，累积日志；控制部，以从累积于所述累积部的日志中选择特定的日志的方式进行控制；以及发送部，将由所述控制部选择的日志发送给外部，所述控制部当在所述基板处理装置中发生了错误(error)时，根据已学习模型，选择累积于所述累积部的日志中的相关度超过阈值的日志。

根据以下(参考附图)对示例性实施例的描述，本发明的其他特征将变得清楚。

附图说明

图1是示出第1实施方式中的信息处理系统的概略图。

图2是示出第1实施方式中的学习模型的图。

图3是示出第1实施方式中的学习画面的图。

图4是示出日志的收集的流程的图。

图5是示出第2实施方式中的学习模型的图。

图6是示出第2实施方式中的学习画面的图。

图7是示出第3实施方式中的网络结构的图。

图8是示出第4实施方式中的信息处理系统的概略图。

(符号说明)

100：信息处理装置；104：累积部；105：发送部；106：控制部。