[发明专利]信息处理装置、信息处理方法以及物品的制造方法

权利要求书

1.一种信息处理装置，累积对基板进行处理的基板处理装置中的日志，所述信息处理装置的特征在于，具有：

累积部，累积日志；

控制部，以从累积于所述累积部的日志中选择特定的日志的方式进行控制；以及

发送部，将由所述控制部选择的日志发送给外部，

所述控制部当在所述基板处理装置中发生了错误时，根据已学习模型，选择累积于所述累积部的日志中的相关度超过阈值的日志。

2.根据权利要求1所述的信息处理装置，其特征在于，

还具有学习部，该学习部根据累积于所述累积部的日志的信息，使学习模型学习所述相关度而制作所述已学习模型。

3.根据权利要求2所述的信息处理装置，其特征在于，

所述学习部以与累积于所述累积部的日志中的被操作员选择的日志有关的相关度变高的方式更新学习模型，并以与未被操作员选择的日志有关的相关度变低的方式更新学习模型。

4.根据权利要求2所述的信息处理装置，其特征在于，

所述学习部根据发生的异常，使学习模型学习解析所需要的日志的时间段，

所述发送部发送由所述学习模型学习到的时间段的日志。

5.根据权利要求1所述的信息处理装置，其特征在于，

所述发送部将所述已学习模型发送给外部，以使所述已学习模型能够在与所述基板处理装置不同的基板处理装置中利用。

6.根据权利要求1所述的信息处理装置，其特征在于，

所述已学习模型是通过根据与所述基板处理装置不同的基板处理装置中的日志的信息使学习模型学习与所述不同的基板处理装置中的异常的相关度而制作的模型。

7.根据权利要求1所述的信息处理装置，其特征在于，

还具有接收部，该接收部从与所述基板处理装置不同的外部装置接收信息。

8.根据权利要求1所述的信息处理装置，其特征在于，

所述相关度是针对所述错误的相关度。

9.一种信息处理方法，累积对基板进行处理的基板处理装置中的日志，所述信息处理方法的特征在于，具有：

累积工序，累积日志；

控制工序，以从在所述累积工序中累积的日志中选择特定的日志的方式进行控制；以及

发送工序，将在所述控制工序中选择的日志发送给外部，

在所述控制工序中，当在所述基板处理装置中发生了错误时，根据已学习模型，选择在所述累积工序中累积的日志中的相关度超过阈值的日志。

10.根据权利要求9所述的信息处理方法，其特征在于，

还具有学习工序，在该学习工序中，根据在所述累积工序中累积的日志的信息，使学习模型学习所述相关度而制作所述已学习模型。

11.一种存储介质，存储有用于使计算机执行权利要求9或10所述的信息处理方法的各工序的程序。

12.一种图案形成装置，其特征在于，具有：

权利要求1至8中的任意一项所述的信息处理装置；以及

图案形成部件，将原版的图案转印到基板，在所述基板上形成图案。

13.一种物品的制造方法，包括：

形成工序，使用权利要求12所述的图案形成装置，在基板上形成图案；以及

显影工序，对在所述形成工序中形成图案后的基板进行显影，

在所述物品的制造方法中，从在所述显影工序中显影后的基板制造物品。