[发明专利]供液装置及供液方法在审
| 申请号： | 202210092156.1 | 申请日： | 2022-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN116534787A | 公开（公告）日： | 2023-08-04 |
| 发明（设计）人： | 张正先;古进忠 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B67D7/78 | 分类号： | B67D7/78;F17D1/08;B67D7/02 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 陈丽丽 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本公开一些实施例提供的供液装置包括：第一供液结构，包括用于供应第一处理液的第一供应端口；第二供液结构，包括用于供应第二处理液的第二供应端口；第一供液回路，与所述第一供液结构和所述第二供液结构连接；第二供液回路，至少与所述第二供液结构连接；控制结构，至少包括第一控制组件和第二控制组件，所述第一控制组件用于控制所述第一供液结构的所述第一供应端口与所述第一供液回路之间的连通与否，所述第二控制组件用于控制所述第二供液结构的所述第二供应端口与所述第二供液回路之间的连通与否、以及所述第二供应端口与所述第一供液回路之间的连通与否。本公开实现了两种处理液的同时供给，极大的拓展了供液装置的应用领域。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 方法 | ||
【主权项】：
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