[发明专利]一种用于集成电路生产用的蚀刻设备有效
| 申请号： | 202210083045.4 | 申请日： | 2022-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN114554713B | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 黄磊 | 申请（专利权）人： | 富璟信息数字科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/22 | 分类号： | H05K3/22;H05K3/26 |
| 代理公司： | 重庆上义众和专利代理事务所(普通合伙) 50225 | 代理人： | 郭维 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区粤海*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了涉及蚀刻装置技术领域，具体为一种用于集成电路生产用的蚀刻设备，包括支撑台，支撑台的下端焊接有支撑架，支撑台的上端焊接有防护外壳，防护外壳的侧面安装有箱门，支撑台的上端设置有转盘，转盘的上端成圆周阵列开设有五个矩形槽，本发明的有益效果是：通过设置的间歇转动机构带动转盘间歇性转动，从而使集成电路板成圆周间歇性转动，使集成电路板依次从蚀刻装置主体、清洗机构和吹干机构的下方转过，且集成电路板在蚀刻装置主体、清洗机构和吹干机构的下方时会停止一端时间，通过设置的蚀刻装置主体对集成电路板进行蚀刻机构，通过清洗机构对集成电路板上的蚀刻液进行冲洗，通过吹干机构对集成电路板上的水渍进行吹干。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 集成电路 生产 蚀刻 设备 | ||
【主权项】：
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