[发明专利]一种用于集成电路生产用的蚀刻设备

权利要求书

1.一种用于集成电路生产用的蚀刻设备，包括支撑台（1），其特征在于：所述支撑台（1）的下端焊接有支撑架（11），所述支撑台（1）的上端焊接有防护外壳（12），所述防护外壳（12）的侧面安装有箱门（13），所述支撑台（1）的上端设置有转盘（2），所述转盘（2）的上端成圆周阵列开设有五个矩形槽（21），所述转盘（2）的下端焊接有转轴（22），所述支撑架（11）内设置有间歇转动机构，所述支撑台（1）的上端插接有蚀刻液箱（28）和清洗水箱（29），所述防护外壳（12）的上端嵌入有蚀刻装置主体（3），所述防护外壳（12）内设置有清洗机构和吹干机构，所述防护外壳（12）的内侧通过定位板连接有弧形块（36），所述转盘（2）的上端成圆周阵列焊接有五个回形框（4），五个回形框（4）内均设置有集成电路板的固定机构，五个回形框（4）的侧面均设置有锁止机构，所述回形框（4）远离锁止机构的一侧通过销杆转动连接有圆柱（47），所述圆柱（47）的侧面开设有卡槽（48），所述防护外壳（12）内腔的上端焊接有固定杆（6），所述固定杆（6）的下端设置有旋转驱动机构；

所述固定机构包括有固定槽（46），所述锁止机构包括有：凹形固定板（5）、连接杆（51）、L形板（52）、复位弹簧（53）、走动板（54）和锁止杆（55），所述回形框（4）的侧面焊接有凹形固定板（5），所述凹形固定板（5）的侧面滑动连接连接杆（51），所述连接杆（51）的一端焊接有L形板（52），所述L形板（52）与弧形块（36）滑动连接，所述连接杆（51）上套设有复位弹簧（53），所述连接杆（51）的另一端焊接有走动板（54），所述走动板（54）的侧面对称焊接有锁止杆（55），所述锁止杆（55）的一端穿过回形框（4）与固定槽（46）插接；

所述旋转驱动机构包括有：限位板（61）、T形槽（62）、固定块（63）、圆杆（64）、插板（65）、T形板（7）、活动齿板（71）、传动齿轮（72）、挡板（73）和气缸（74），所述固定杆（6）的下端焊接有限位板（61），所述限位板（61）的上端开设有T形槽（62），所述限位板（61）的下端焊接有固定块（63），所述固定块（63）的侧面转动连接有圆杆（64），所述圆杆（64）的一端焊接有插板（65），所述插板（65）与卡槽（48）插接，所述圆杆（64）的另一端焊接有传动齿轮（72），所述T形槽（62）内滑动连接有T形板（7），所述T形板（7）的下端焊接有活动齿板（71），所述活动齿板（71）与传动齿轮（72）啮合，所述活动齿板（71）的上端焊接有挡板（73），所述挡板（73）的侧面焊接有气缸（74），所述气缸（74）通过耳板与限位板（61）连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于集成电路生产用的蚀刻设备，其特征在于：所述转轴（22）与支撑台（1）转动连接，所述转轴（22）的下端通过销杆与支撑架（11）转动连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于集成电路生产用的蚀刻设备，其特征在于：所述间歇转动机构包括有：棘轮盘（23）、圆形板（24）、半圆盘（25）、旋转板（26）和传动杆（27），所述转轴（22）上焊接有棘轮盘（23），所述支撑架（11）内通过销杆转动连接有圆形板（24），所述圆形板（24）的上端焊接有半圆盘（25），所述半圆盘（25）的侧面焊接有旋转板（26），所述旋转板（26）的上端焊接有传动杆（27），所述传动杆（27）与棘轮盘（23）滑动连接。

4.根据权利要求3所述的一种用于集成电路生产用的蚀刻设备，其特征在于：所述棘轮盘（23）为一个圆形块的上端成圆周阵列开设有五个滑槽，且圆形块的侧面成圆周阵列开设有五个扇形槽，所述传动杆（27）与滑槽滑动连接，所述半圆盘（25）与扇形槽滑动连接。

5.根据权利要求1所述的一种用于集成电路生产用的蚀刻设备，其特征在于：所述清洗机构包括有：进水主管（31）、分水箱（32）和喷头（33），所述防护外壳（12）的侧面插接有进水主管（31），所述进水主管（31）的一端焊接有分水箱（32），所述分水箱（32）的下端通过螺纹连接有两个喷头（33）。