[发明专利]一种用于集成电路生产用的蚀刻设备

说明书

本发明公开了涉及蚀刻装置技术领域，具体为一种用于集成电路生产用的蚀刻设备，包括支撑台，支撑台的下端焊接有支撑架，支撑台的上端焊接有防护外壳，防护外壳的侧面安装有箱门，支撑台的上端设置有转盘，转盘的上端成圆周阵列开设有五个矩形槽，本发明的有益效果是：通过设置的间歇转动机构带动转盘间歇性转动，从而使集成电路板成圆周间歇性转动，使集成电路板依次从蚀刻装置主体、清洗机构和吹干机构的下方转过，且集成电路板在蚀刻装置主体、清洗机构和吹干机构的下方时会停止一端时间，通过设置的蚀刻装置主体对集成电路板进行蚀刻机构，通过清洗机构对集成电路板上的蚀刻液进行冲洗，通过吹干机构对集成电路板上的水渍进行吹干。

技术领域

本发明涉及蚀刻装置技术领域，具体为一种用于集成电路生产用的蚀刻设备。

背景技术

集成电路是一种微型电子器件或部件。集成电路在加工的过程中需要通过蚀刻机进行加工。蚀刻机可以分为化学蚀刻机及电解蚀刻机两类。在化学蚀刻中是使用化学溶液，经由化学反应以达到蚀刻的目的，化学蚀刻机是将材料用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。集成电路通过蚀刻机加工完成后，其表面会附着大量的蚀刻液，这些蚀刻液长时间停留在集成电路的表面，会引发侧蚀，降低了该集成电路的加工良品率，且这些蚀刻液为化学材料，对人体具有一定的危害性，因此我们对集成电路加工完成后需要通过清洗。现有的蚀刻机不具有清理功能，但在对集成电路进行拆卸的时候容易吸入蚀刻液的挥发气体，对身体造成损害，且对集成电路清洗完成后需要将其表面的水渍清理干净，现有的处理步骤需要通过多台设备进行操作。不仅清理效果不理想，而且需要多次对集成电路进行拆卸安装，大大降低了工作效率。为此，我们提出了一种用于集成电路生产用的蚀刻设备以解决上述弊端。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于集成电路生产用的蚀刻设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种用于集成电路生产用的蚀刻设备，包括支撑台，所述支撑台的下端焊接有支撑架，所述支撑台的上端焊接有防护外壳，所述防护外壳的侧面安装有箱门，所述支撑台的上端设置有转盘，所述转盘的上端成圆周阵列开设有五个矩形槽，所述转盘的下端焊接有转轴，所述支撑架内设置有间歇转动机构，所述支撑台的上端插接有蚀刻液箱和清洗水箱，所述防护外壳的上端嵌入有蚀刻装置主体，所述防护外壳内设置有清洗机构和吹干机构，所述防护外壳的内侧通过定位板连接有弧形块，所述转盘的上端成圆周阵列焊接有五个回形框，五个回形框内均设置有集成电路板的固定机构，五个回形框的侧面均设置有锁止机构，所述回形框远离锁止机构的一侧通过销杆转动连接有圆柱，所述圆柱的侧面开设有卡槽，所述防护外壳内腔的上端焊接有固定杆，所述固定杆的下端设置有旋转驱动机构。

优选的，所述转轴与支撑台转动连接，所述转轴的下端通过销杆与支撑架转动连接。

优选的，所述间歇转动机构包括有：棘轮盘、圆形板、半圆盘、旋转板和传动杆，所述转轴上焊接有棘轮盘，所述支撑架内通过销杆转动连接有圆形板，所述圆形板的上端焊接有半圆盘，所述半圆盘的侧面焊接有旋转板，所述旋转板的上端焊接有传动杆，所述传动杆与棘轮盘滑动连接。

优选的，所述棘轮盘为一个圆形块的上端成圆周阵列开设有五个滑槽，且圆形块的侧面成圆周阵列开设有五个扇形槽，所述传动杆与滑槽滑动连接，所述半圆盘与扇形槽滑动连接。

优选的，所述清洗机构包括有：进水主管、分水箱和喷头，所述防护外壳的侧面插接有进水主管，所述进水主管的一端焊接有分水箱，所述分水箱的下端通过螺纹连接有两个喷头。

优选的，所述吹干机构包括有：进风管和出风管，所述防护外壳上在进水主管的相邻侧面插接有进风管，所述进风管的端部焊接有出风管。