[发明专利]光罩智能检测清洁存储设备在审
| 申请号： | 202210078128.4 | 申请日： | 2022-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN114394333A | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 刘志林 | 申请（专利权）人： | 四川众班科技有限公司 |
| 主分类号： | B65D61/00 | 分类号： | B65D61/00;B08B7/02;B65D25/10;B65G43/08;B65G47/90;F24F11/89;G01N21/95 |
| 代理公司： | 成都知都云专利代理事务所(普通合伙) 51306 | 代理人： | 陈钱 |
| 地址： | 610000 四川省成都市*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光罩智能检测清洁存储设备，其特征在于：包括外柜(1)、分别设置在所述外柜(1)内部的放置架(6)、光罩检测清洁机(7)、智能机械手(8)以及存储架(9)；所述智能机械手(8)能带动光罩(18)在所述放置架(6)、所述光罩检测清洁机(7)以及所述存储架(9)之间转移。本发明将放置架、光罩检测清洁机、智能机械手以及存储架集成于外柜内，使得本发明能够集光罩检测、清洁、存储于一体，提高光罩检测存储效率。 | ||
| 搜索关键词： | 智能 检测 清洁 存储 设备 | ||
【主权项】：
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