[发明专利]光罩智能检测清洁存储设备

说明书

本发明公开了一种光罩智能检测清洁存储设备，其特征在于：包括外柜(1)、分别设置在所述外柜(1)内部的放置架(6)、光罩检测清洁机(7)、智能机械手(8)以及存储架(9)；所述智能机械手(8)能带动光罩(18)在所述放置架(6)、所述光罩检测清洁机(7)以及所述存储架(9)之间转移。本发明将放置架、光罩检测清洁机、智能机械手以及存储架集成于外柜内，使得本发明能够集光罩检测、清洁、存储于一体，提高光罩检测存储效率。

技术领域

本发明涉及光罩检测技术领域，具体是指一种光罩智能检测清洁存储设备。

背景技术

光罩又称为掩膜版或掩模板，其是由石英玻璃作为衬底，在其上面镀上一层金属铬和感光胶，成为一种感光材料，使用时把已设计好的电路图形通过电子激光设备曝光在感光胶上，被曝光的区域会被显影出来，在金属铬上形成电路图形，成为类似曝光后的底片的光掩模版，然后对集成电路进行投影定位，通过集成电路光刻机对所投影的电路进行光蚀刻，其是IC制作的过程中必不可少的工具。

光罩在转运过程中通常会被放置在如图21所示的光罩存放盒中，并且光罩在入库存储时需要将光罩从光罩存放盒中取出并检测其表面是否附着有灰尘颗粒或是否破损，以排除因光罩表面存在缺陷而影响后期电路图形的曝光质量。但是，因为目前还没有一种专门用于光罩检测清洁存储的一体化设备，所以传统的方式是由人工打开光罩存放盒将光罩取出，并采用人工肉眼查看的方式进行检查，然后将没有缺陷的光罩入库存储，这种方式效率低下，并且容易出现漏检的情况，而且整个检测流程下来有可能因为人为原因而造成光罩损坏，给企业带来不必要的经济损失。

发明内容

本发明的目的在于解决上述问题，提供一种光罩智能检测清洁存储设备，其能够自动完成光罩的拿取、检测、清洁以及存储工作，提高了工作效率。

本发明的目的通过下述技术方案实现：光罩智能检测清洁存储设备，包括外柜、分别设置在所述外柜内部的放置架、光罩检测清洁机、智能机械手以及存储架；所述智能机械手能带动光罩在所述放置架、所述光罩检测清洁机以及所述存储架之间转移。

进一步的，所述光罩检测清洁机包括机台、设置在所述机台上用于放置所述光罩的光罩承载机构、设置在所述机台上用于检测所述光罩表面的两个检测机构以及设置在所述机台上的干式超声波除尘器；所述机台能驱动所述光罩承载机构移动至所述干式超声波除尘器的清洁头下方；两个所述检测机构间隔设置，并且所述机台能驱动所述光罩承载机构移动至两个所述检测机构之间，使两个所述检测机构能分别检测所述光罩正、反两个表面。

再进一步的，所述检测机构包括具有弧形槽的背板、安装在所述弧形槽上的安装结构以及安装在所述安装结构上的3D相机。

所述安装结构包括安装在所述弧形槽上的角度调节板、活动连接在所述角度调节板上的安装板以及固定在所述角度调节板上的距离调节块；所述3D相机安装于安装板上，所述角度调节板能沿所述弧形槽移动，从而调节所述3D相机与所述光罩表面之间的夹角；所述距离调节块通过连接部件与所述安装板连接，并且连接部件能带动所述安装板相对所述角度调节板上下移动，从而调节所述3D相机与所述光罩表面之间的间距。

所述光罩承载机构包括连接在所述机台上的支架、设置在所述支架上用于放置所述光罩的至少两根支撑杆以及安装在所述支架上的夹持气缸；两根所述支撑杆上均设置有限位部，所述光罩被夹持在所述夹持气缸的气缸伸缩端和所述限位部之间。

作为另一种优选方案，所述光罩承载机构还包括相对设置的两块夹持板、设置在所述支架上且连接两块所述夹持板的气动手指；所述气动手指能驱动两块所述夹持板移动，使两块所述夹持板能分别夹紧所述光罩的相对两侧边。