[发明专利]光罩智能检测清洁存储设备

权利要求书

1.光罩智能检测清洁存储设备，其特征在于：包括外柜(1)、分别设置在所述外柜(1)内部的放置架(6)、光罩检测清洁机(7)、智能机械手(8)以及存储架(9)；所述智能机械手(8)能带动光罩(18)在所述放置架(6)、所述光罩检测清洁机(7)以及所述存储架(9)之间转移。

2.根据权利要求1所述的光罩智能检测清洁存储设备，其特征在于：所述光罩检测清洁机(7)包括机台(11)、设置在所述机台(11)上用于放置所述光罩(18)的光罩承载机构(19)、设置在所述机台(11)上用于检测所述光罩(18)表面的两个检测机构(17)以及设置在所述机台(11)上的干式超声波除尘器(15)；所述机台(11)能驱动所述光罩承载机构(19)移动至所述干式超声波除尘器(15)的清洁头下方；两个所述检测机构(17)间隔设置，并且所述机台(11)能驱动所述光罩承载机构(19)移动至两个所述检测机构(17)之间，使两个所述检测机构(17)能分别检测所述光罩(18)正、反两个表面。

3.根据权利要求2所述的光罩智能检测清洁存储设备，其特征在于：所述检测机构(17)包括具有弧形槽(26)的背板(22)、安装在所述弧形槽(26)上的安装结构以及安装在所述安装结构上的3D相机(21)；

所述安装结构包括安装在所述弧形槽(26)上的角度调节板(25)、活动连接在所述角度调节板(25)上的安装板(23)以及固定在所述角度调节板(25)上的距离调节块(24)；所述3D相机(21)安装于安装板(23)上，所述角度调节板(25)能沿所述弧形槽(26)移动，从而调节所述3D相机(21)与所述光罩(18)表面之间的夹角；所述距离调节块(24)通过连接部件与所述安装板(23)连接，并且连接部件能带动所述安装板(23)相对所述角度调节板(25)上下移动，从而调节所述3D相机(21)与所述光罩(18)表面之间的间距。

4.根据权利要求2所述的光罩智能检测清洁存储设备，其特征在于：所述光罩承载机构(19)包括连接在所述机台(11)上的支架(33)、设置在所述支架(33)上用于放置所述光罩(18)的至少两根支撑杆(30)以及安装在所述支架(33)上的夹持气缸(34)；两根所述支撑杆(30)上均设置有限位部(28)，所述光罩(18)被夹持在所述夹持气缸(34)的气缸伸缩端(29)和所述限位部(28)之间。

5.根据权利要求4所述的光罩智能检测清洁存储设备，其特征在于：所述光罩承载机构(19)还包括相对设置的两块夹持板(31)、设置在所述支架(33)上且连接两块所述夹持板(31)的气动手指(35)；所述气动手指(35)能驱动两块所述夹持板(31)移动，使两块所述夹持板(31)能分别夹紧所述光罩(18)的相对两侧边。

6.根据权利要求1所述的光罩智能检测清洁存储设备，其特征在于：所述放置架(6)包括安装架(36)和分别设置在所述安装架(36)上的若干个光罩存放盒定位开启装置(37)；所述光罩存放盒定位开启装置(37)包括框体(38)、分别设置在所述框体(38)上的下压机构、两个侧面定位机构(44)以及开门机构；所述下压机构和两个所述侧面定位机构(44)之间形成用于放置光罩存放盒(59)的放置空间，所述下压机构用于从上方压紧所述光罩存放盒(59)，两个所述侧面定位机构(44)用于从两侧夹持所述光罩存放盒(59)，所述开门机构用于开启所述光罩存放盒(59)的盒门(57)；所述框体(38)和/或所述侧面定位机构(44)上设置有用于限定所述光罩存放盒(59)前后位置的限位伸缩气缸(47)和限位柱(45)。

7.根据权利要求6所述的光罩智能检测清洁存储设备，其特征在于：所述开门机构包括设置在所述框体(38)上的电机(43)和安装于所述电机(43)主轴上的摇臂(42)。