[发明专利]一种掩膜版框架及掩膜版组件在审
| 申请号： | 202210076291.7 | 申请日： | 2022-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN114438444A | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 匡友元 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 方世栋 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请提供一种掩膜版框架及掩膜版组件，包括框架本体，所述框架本体开设有开窗，所述框架本体开设有至少两个间隔设置的安装部，所述安装部用于固定掩膜版，所述开窗位于至少两个所述安装部的最内侧的所述安装部的内侧。本申请提供的掩膜版框架及掩膜版组件，由于在所述框架本体上开设有至少两个间隔的安装部，每个安装部用于固定一个掩膜版，当所述框架本体与掩膜版配合时，由现有技术的一个框架本体与一个掩膜版配合变成一个框架本体能搭配至少两个具不同开口尺寸的掩膜版使用，也即节省了框架本体的数量，从而节省了掩膜版组件的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜版 框架 组件 | ||
【主权项】：
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