[发明专利]一种掩膜版框架及掩膜版组件在审

专利信息
申请号: 202210076291.7 申请日: 2022-01-24
公开(公告)号: CN114438444A 公开(公告)日: 2022-05-06
发明(设计)人: 匡友元 申请(专利权)人: 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: C23C14/04 分类号: C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/56
代理公司: 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 代理人: 方世栋
地址: 518132 广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 掩膜版 框架 组件
【说明书】:

本申请提供一种掩膜版框架及掩膜版组件,包括框架本体,所述框架本体开设有开窗,所述框架本体开设有至少两个间隔设置的安装部,所述安装部用于固定掩膜版,所述开窗位于至少两个所述安装部的最内侧的所述安装部的内侧。本申请提供的掩膜版框架及掩膜版组件,由于在所述框架本体上开设有至少两个间隔的安装部,每个安装部用于固定一个掩膜版,当所述框架本体与掩膜版配合时,由现有技术的一个框架本体与一个掩膜版配合变成一个框架本体能搭配至少两个具不同开口尺寸的掩膜版使用,也即节省了框架本体的数量,从而节省了掩膜版组件的成本。

技术领域

本申请涉及显示技术领域,尤其涉及一种成膜用的掩膜版框架及包括所述掩膜版框架的掩膜版组件。

背景技术

目前,在大尺寸Inline OLED(有机发光二极管)成膜过程中,往往需要两种掩膜版(Mask)进行配合成膜。一种为形成OLED的有机发光层的掩膜版,一种为形成OLED金属阴极层的掩膜版,为保证连续生产性,至少一种类型的掩膜版需要一用一备两套,整条线至少需要4套掩膜版。从而,导致掩膜版需求量巨大,由于掩膜版的特殊材质,决定了掩膜版的单价高,增加了成膜的成本。

因此,现有技术存在缺陷,急需解决。

发明内容

本申请提供一种掩膜版框架,能够解决掩膜版的成本过高的问题。

为解决上述问题,本申请提供的技术方案如下:

一种掩膜版框架,其包括:

框架本体,所述框架本体开设有开窗,所述框架本体开设有至少两个间隔设置的安装部,所述开窗位于至少两个所述安装部的最内侧的所述安装部的内侧。

在本发明的其中一些实施例中,所述安装部为环状,且所述开窗的中心与所述安装部的中心同心。

在本发明的其中一些实施例中,所述安装部为相对设置的两个条型槽。

在本发明的其中一些实施例中,所述框架本体还包括上表面以及与所述上表面相对的下表面,所述安装部自所述上表面向所述下表面开设,所述背面开设有至少两个顶针槽,每组顶针槽与一组所述安装部相对应且相连通。

在本发明的其中一些实施例中,所述顶针槽的宽度小于对应的安装部的宽度。

在本发明的其中一些实施例中,所述掩膜版框架还包括与所述框架本体固定的支撑肋条,所述支撑肋条垮设于所述开窗的相对侧。

在本发明的其中一些实施例中,所述掩膜版框架还包括环绕所述开窗且与所述开窗相连通的凹设部。

一种掩膜版组件,其包括:

掩膜版框架,且所述掩膜版框架是如上任意一项所述的掩膜版框架;以及;以及

至少一个掩膜版,至少一个所述掩膜版能可拆卸地安装于所述掩膜版框架包括的至少两个所述安装部中的其中一组安装部中。

在本发明的其中一些实施例中,至少一个所述掩膜版包括版体部以及对版体部张网固定的固定座,所述固定座位于所述掩膜版框架包括的至少两个安装部中的其中一组安装部中。

在本发明的其中一些实施例中,至少一个所述掩膜版的数量为两个,且两个所述掩膜版包括的版体部沿所述掩膜版框架的高度方向设置。

在本发明的其中一些实施例中,两个所述掩膜版分别包括的所述版体部沿所述掩膜版框架的高度方向上层叠设置。

在本发明的其中一些实施例中,每个所述掩膜版的版体部包括有开口,两个所述掩膜版开设的所述开口尺寸不相同;且开口尺寸较大的版体部更靠近所述框架本体包括的背面设置。

在本发明的其中一些实施例中,层叠设置的两个所述掩膜版中的每个掩膜版包括至少一个所述开口,且不同掩膜版相对应位置的所述开口的中心同心设置。

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