[发明专利]一种掩膜版框架及掩膜版组件

权利要求书

1.一种掩膜版框架，其特征在于，包括：

框架本体，所述框架本体开设有开窗，所述框架本体开设有至少两个间隔设置的安装部，所述安装部用于固定掩膜版，所述开窗位于至少两个所述安装部的最内侧的所述安装部的内侧。

2.根据权利要求1所述的掩膜版框架，其特征在于，所述安装部为凹槽。

3.根据权利要求2所述的掩膜版框架，其特征在于，所述框架本体还包括上表面以及与所述上表面相对的下表面，所述凹槽自所述上表面向所述下表面开设。

4.根据权利要求3所述的掩膜版框架，其特征在于，所述下表面开设有至少两个顶针槽，每组顶针槽与一组所述安装部相对应且相连通。

5.根据权利要求4所述的掩膜版框架，其特征在于，所述顶针槽的宽度小于对应的安装部的宽度。

6.根据权利要求1所述的掩膜版框架，其特征在于，所述掩膜版框架还包括与所述框架本体固定的支撑肋条，所述支撑肋条垮设于所述开窗的相对侧。

7.根据权利要求1所述的掩膜版框架，其特征在于，所述掩膜版框架还包括环绕所述开窗且与所述开窗相连通的凹设部。

8.一种掩膜版组件，其特征在于，包括：

掩膜版框架，且所述掩膜版框架是如权利要求1-7任意一项所述的掩膜版框架；以及；以及

至少一个掩膜版，至少一个所述掩膜版能可拆卸地安装于所述掩膜版框架包括的至少两个所述安装部中的其中一个安装部中。

9.根据权利要求8所述的掩膜版组件，其特征在于，至少一个所述掩膜版包括版体部以及对版体部张网固定的固定座，所述固定座能与所述掩膜版框架包括的至少两个安装部中的其中一组安装部组装配合。

10.根据权利要求8所述的掩膜版组件，其特征在于，至少一个所述掩膜版的数量为两个，且两个所述掩膜版包括的版体部沿所述掩膜版框架的高度方向设置。

11.根据权利要求10所述的掩膜版组件，其特征在于，两个所述掩膜版分别包括的所述版体部沿所述掩膜版框架的高度方向上层叠设置。

12.根据权利要求11所述的掩膜版组件，其特征在于，每个所述掩膜版的版体部包括有开口，两个所述掩膜版开设的所述开口尺寸不相同；且开口尺寸较大的版体部更靠近所述框架本体包括的背面设置。

13.根据权利要求12所述的掩膜版组件，其特征在于，层叠设置的两个所述掩膜版中的每个掩膜版包括至少一个所述开口，且不同掩膜版相对应位置的所述开口的中心同心设置。