[发明专利]一种吸盘机构及装设装置在审
| 申请号： | 202210070925.8 | 申请日： | 2022-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN114420527A | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 经军辉;肖蕴章;刘亮辉;陈炳安;钟国仿 | 申请（专利权）人： | 深圳市纳设智能装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/683;C30B25/12;C30B25/08 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 贾耀斌 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市光明区凤*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种吸盘机构及装设装置，涉及化学气相沉积设备领域，吸盘机构包括载盘吸附管、载盘吸附件、晶圆吸附管、晶圆吸附件及支撑件，载盘吸附管可转动地设于支撑件上，载盘吸附件设于载盘吸附管的一端，且与载盘吸附管连通，载盘吸附件用于吸附载盘，晶圆吸附管穿设于载盘吸附管中，晶圆吸附件设于晶圆吸附管靠近载盘吸附件的一端，且与晶圆吸附管连通，晶圆吸附件用于吸附晶圆，晶圆吸附管能够在载盘吸附管中移动，以使吸附于晶圆吸附件上的晶圆移动至吸附于载盘吸附件上的载盘上。本发明提供的吸盘机构操作简易，可实现自动化取放晶圆，提高了效率，且避免了人工操作的污染，从而提高了产能及产品的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 吸盘 机构 装设 装置 | ||
【主权项】：
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