[发明专利]一种吸盘机构及装设装置

权利要求书

1.一种吸盘机构，其特征在于，包括载盘吸附管、载盘吸附件、晶圆吸附管、晶圆吸附件及支撑件，所述载盘吸附管可转动地设于所述支撑件上，所述载盘吸附件设于所述载盘吸附管的一端，且与所述载盘吸附管连通，所述载盘吸附件用于吸附载盘，所述晶圆吸附管穿设于所述载盘吸附管中，所述晶圆吸附件设于所述晶圆吸附管靠近所述载盘吸附件的一端，且与所述晶圆吸附管连通，所述晶圆吸附件用于吸附所述晶圆，所述晶圆吸附管能够在所述载盘吸附管中移动，以使吸附于所述晶圆吸附件上的所述晶圆移动至吸附于所述载盘吸附件上的所述载盘上。

2.根据权利要求1所述的吸盘机构，其特征在于，所述载盘吸附管包括吸附主体、第一管体及第二管体，所述第一管体与所述第二管体套接且设于所述吸附主体的一侧，所述吸附主体上开设有第一吸附孔及穿设孔，所述第一管体与所述第二管体之间形成第一吸附通道，所述第一管体中形成穿设通道，所述第二管体上开设有第一吸气孔，所述第一吸附孔与所述第一吸气孔通过所述第一吸附通道连通，所述穿设孔与所述穿设通道连通，所述第一吸附孔与所述载盘吸附件相连通，所述晶圆吸附管穿设于所述穿设通道及所述穿设孔中。

3.根据权利要求2所述的吸盘机构，其特征在于，所述载盘吸附管还包括第一气嘴，所述第一气嘴设于所述第二管体上且与所述第一吸气孔连通，所述第一气嘴用于外接真空装置，以向所述载盘吸附管中提供真空。

4.根据权利要求2所述的吸盘机构，其特征在于，所述载盘吸附件包括吸盘及第一吸附垫，所述吸盘设于所述吸附主体上，所述第一吸附垫设于所述吸盘远离所述吸附主体的一侧，所述吸盘用于将所述载盘吸附管提供的吸附力传递至所述第一吸附垫。

5.根据权利要求4所述的吸盘机构，其特征在于，所述载盘吸附件还包括定位销，所述吸盘及所述第一吸附垫上还分别开设有定位孔，所述定位销穿设于所述吸盘及所述第一吸附垫上的所述定位孔中，以将所述吸盘与所述第一吸附垫定位并固定。

6.根据权利要求4所述的吸盘机构，其特征在于，所述第一吸附垫为柔性材料制成。

7.根据权利要求2所述的吸盘机构，其特征在于，所述晶圆吸附管包括第三管体及第二气嘴，所述第三管体穿设于所述穿设通道及穿设孔中，所述第三管体设有第二吸附孔、第二吸附通道及第二吸气孔，所述第二气嘴设于所述第三管体上且与所述第二吸气孔连通，所述第二吸附孔开设于所述第三管体靠近所述第一吸附孔的一侧，所述晶圆吸附件设于所述第三管体靠近所述第二吸附孔的一侧，且与所述第二吸附孔连通，所述第二吸附孔与所述第二吸气孔通过所述第二吸附通道连通。

8.根据权利要求2所述的吸盘机构，其特征在于，所述吸盘机构还包括导向件，所述导向件设于所述载盘吸附管与所述晶圆吸附管之间。

9.根据权利要求8所述的吸盘机构，其特征在于，所述导向件包括轴承固定块及轴承，所述轴承固定块设于所述吸附主体上且位于所述穿设孔朝向所述载盘吸附件的一侧，所述轴承设于所述穿设孔中，且朝向所述穿设通道，所述轴承固定块用于将所述轴承压紧于所述穿设孔中，所述轴承外侧套设所述吸附主体，内侧套设于所述晶圆吸附管上。

10.一种装设装置，其特征在于，包括搬运机构、识别机构、控制机构及如权利要求1-9中任一项所述的吸盘机构，所述控制机构与所述搬运机构、所述识别机构及所述吸盘机构分别电连接。