[发明专利]一种高致密高温抗氧化钼基复合靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 202210056511.X | 申请日： | 2022-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN114230340B | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 杨璐;魏世忠;王喜然;赵阳;王晓东;张玢;梁栋 | 申请（专利权）人： | 河南科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/08 |
| 代理公司： | 洛阳华和知识产权代理事务所(普通合伙) 41203 | 代理人： | 刘亚莉 |
| 地址： | 471000 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高致密高温抗氧化钼基复合靶材及其制备方法，所述钼基复合靶材包括钼基和氧化物，所述氧化物至少包括氧化铝和氧化铬中的一种，且钼基与氧化铝的质量比为(90～99):(0～5)，钼基与氧化铬的质量比为(90～99):(0～5)。本发明采用水热法制备纯度高、分散好、形貌好、大小可控的纳米级氧化物二次相，选用液液掺杂技术保证前驱体得到均匀混合。二次相的引入，抑制了气相迁移过程，细化了复合粉体，最终得到近球形的纳米复合粉体。本发明相较于现有的熔炼法、湿化学法来说，成本更低，操作更方便，适用性更强，所制备的钼基复合靶材具有极高的致密度和高温抗氧化性能，具有广阔的规模化工业应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 致密 高温 氧化钼 复合 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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