[发明专利]一种全自动双卡盘探针台载片测试系统在审
| 申请号： | 202210033225.1 | 申请日： | 2022-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN114527305A | 公开（公告）日： | 2022-05-24 |
| 发明（设计）人： | 罗伟;廖凤斌;雷旭;窦国珍 | 申请（专利权）人： | 成都云绎智创科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;G01R31/00 |
| 代理公司： | 成都环泰专利代理事务所(特殊普通合伙) 51242 | 代理人： | 李斌;李辉 |
| 地址： | 610000 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种全自动双卡盘探针台载片测试系统，包括机架，所述机架上设置有用于载片测试的双卡盘探针台系统和用于载片上下料的自动上下料系统，所述双卡盘探针台系统包括固定设于机架上的底板，底板上固定安装有第一直线电机与直线导轨组件，所述第一直线电机与直线导轨组件通过连扳分别连接有第二直线电机和第三直线电机，所述第二直线电机与第三直线电机上分别设有用于承载载片的卡盘组件。本发明具有高自动化的特点，并且提高了测试效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 全自动 卡盘 探针 台载片 测试 系统 | ||
【主权项】：
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