[发明专利]一种全自动双卡盘探针台载片测试系统

说明书

本发明公开了一种全自动双卡盘探针台载片测试系统，包括机架，所述机架上设置有用于载片测试的双卡盘探针台系统和用于载片上下料的自动上下料系统，所述双卡盘探针台系统包括固定设于机架上的底板，底板上固定安装有第一直线电机与直线导轨组件，所述第一直线电机与直线导轨组件通过连扳分别连接有第二直线电机和第三直线电机，所述第二直线电机与第三直线电机上分别设有用于承载载片的卡盘组件。本发明具有高自动化的特点，并且提高了测试效率。

技术领域

本发明涉及半导体设备技术领域，特别是涉及一种全自动双卡盘探针台载片测试系统。

背景技术

载片是随微组装工艺发展出的新形态产品，通常由载体、裸芯片、匹配电路组成，具有小型化、高集成度、低成本等优点。载片测试点以Pad点形式裸露分布在载片表面上，受物料精度和装配工艺制约，电路烧结到载体上之后，Pad点不像其在晶圆时那样，位置精确一致且呈矩阵式排列，而且Z方向的高度差也超出了探针允许的溃缩量，无法使用传统自动探针台测试，传统的晶圆探针台无法满足使用要求。

现有技术中，主要采用以下两种方式进行测量，其一是通过手动探针台进行测试，需要操作人员逐个产品、逐个PAD进行对位后测试。这种方式的主要问题是对位和测试时间长，无法应用于大批量生产测试场景，另一个是先将载片键合到测试工装上，再连同测试工装进行测试，测试完成后将载片和工装连接的金丝拔除。这种方式的主要问题是增加了键合和拔除金丝两道工序，以及两道工序所需的设备、操作人员、测试工装等，成本高；同时，拔除金丝可能对产品的外观和质量造成影响。

发明内容

针对上述问题，本发明提供了一种全自动双卡盘探针台载片测试系统，具有高自动化、高效率的特点。

本发明的技术方案是：

一种全自动双卡盘探针台载片测试系统，包括机架，所述机架上设置有用于载片测试的双卡盘探针台系统和用于载片上下料的自动上下料系统，所述双卡盘探针台系统包括固定设于机架上的底板，底板上固定安装有第一直线电机与直线导轨组件，所述第一直线电机与直线导轨组件通过连扳分别连接有第二直线电机和第三直线电机，所述第二直线电机与第三直线电机上分别设有用于承载载片的卡盘组件。

上述技术方案的工作原理如下：

使第二直线电机和第三直线电机分别搭载一组卡盘组件，工作时双卡盘工作方式，自动上下料系统在将待测件料仓内的料盘推出时，由识别取料组件首先识别料盘内的载片，对载片位置进行识别定位，然后由识别取料组件上的吸嘴吸附料盘内的载片，与此同时，通过第二直线电机和第三直线电机的工作，使卡盘组件移动至指定位置，识别取料组件吸附载片依次放置在两个卡盘组件的若干气孔上，当其中一个卡盘组件载片放置完成后，其移动至指定位置经视觉识别组件识别定位，引导若干电动针座至指定位置，电动针座对位于卡盘上的载片进行测试，需要说明的是，视觉识别组件和识别取料组件为具有视觉识别引导功能的视觉组件，以分别帮助引导电动针座和吸嘴移动至其引导的指定位置，同时，另一卡盘组件处于待命状态，当前一卡盘组件上的载片测试完成，处于待命状态的卡盘组件立即进入测试位置，同时已测试完成的载片被识别取料组件移动至指定位置，再由识别取料组件根据测试结果分别吸附放置在合格品料仓和不合格品料仓，并再次上料，如此往复。

本系统装置采用双卡盘方式，自动上下料系统在将待测件料仓内的料盘推出，识别取料组件识别吸附料盘内的载片后，依次放置在两个卡盘组件的气孔上，当其中一个卡盘组件移动至指定位置并被若干电动针座测试时，另一卡盘组件处于待命状态，前一卡盘上的载片测试完成，处于待命状态的卡盘组件立即进入测试位置，同时已测试完成的载片被识别取料组件移动至指定位置，再由识别取料组件吸附放置在合格品料仓和不合格品料仓，并再次上料，如此往复，相比现有技术，本发明高自动化、并提高了测试效率。

在进一步的技术方案中，所述底板两侧还设有支撑架，支撑架上设有槽架和针座板，所述针座板位于卡盘组件的上方，所述针座板的中部开孔，孔的四周分布有若干电动针座，孔上方设有视觉识别组件，视觉识别组件安装于所述槽架上。