[发明专利]一种全自动双卡盘探针台载片测试系统

权利要求书

1.一种全自动双卡盘探针台载片测试系统，包括机架(1)，其特征在于，所述机架(1)上设置有用于载片测试的双卡盘探针台系统和用于载片上下料的自动上下料系统，所述双卡盘探针台系统包括固定设于机架(1)上的底板(2)，底板(2)上固定安装有第一直线电机(3)与直线导轨组件(4)，所述第一直线电机(3)与直线导轨组件(4)通过连扳分别连接有第二直线电机(5)和第三直线电机(6)，所述第二直线电机(5)与第三直线电机(6)上分别设有用于承载载片的卡盘组件(7)。

2.根据权利要求1所述的一种全自动双卡盘探针台载片测试系统，其特征在于，所述底板(2)两侧还设有支撑架(8)，支撑架(8)上设有槽架(10)和针座板(12)，所述针座板(12)位于卡盘组件(7)的上方，所述针座板(12)的中部开孔，孔的四周分布有若干电动针座(11)，孔上方设有视觉识别组件(9)，视觉识别组件(9)安装于所述槽架(10)上。

3.根据权利要求2所述的一种全自动双卡盘探针台载片测试系统，其特征在于，所述自动上下料系统包括识别取料组件(13)，识别取料组件(13)包括视觉识别组件(9)和吸嘴，所述识别取料组件(13)固定安装在可移动的运动组件(14)上，所述运动组件(14)包括直线模组与直线导轨，所述运动组件(14)固定在撑板(15)上，所述撑板(15)固定安装在机架(1)上，所述撑板(15)的下部固定有上下料组件，撑板(15)上开有供上下料组件通过的孔。

4.根据权利要求3所述的一种全自动双卡盘探针台载片测试系统，其特征在于，所述上下料组件包括并排分布的待测件料仓(16)、合格品料仓(17)与不合格品料仓(18)，所述待测件料仓(16)、合格品料仓(17)与不合格品料仓(18)内分别设置有可装载载片的料盘(19)，所述待测件料仓(16)、合格品料仓(17)与不合格品料仓(18)固定安装在可上下移动的料仓运动组件(20)上，所述待测件料仓(16)、合格品料仓(17)与不合格品料仓(18)的前后两侧分别设置有推杆机构和夹取机构，所述推杆机构包括第一气缸(21)和推杆组件(22)，所述夹取机构固定在可上下移动的夹取运动组件(23)上，所述夹取机构包括第二气缸(24)与夹爪(25)。

5.根据权利要求4所述的一种全自动双卡盘探针台载片测试系统，其特征在于，所述卡盘组件(7)包括卡盘(26)和分布于卡盘(26)四周的气管接头(27)，所述卡盘(26)上设置有若干气孔(28)，所述气孔(28)通过真空吸附方式吸附载片于卡盘(26)上。