[发明专利]一种集成电路制造用多工位的测试设备在审
| 申请号： | 202210028627.2 | 申请日： | 2022-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN114377995A | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 朱培;韩炳伟 | 申请（专利权）人： | 深圳市华测半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | B07C5/34 | 分类号： | B07C5/34;B07C5/342;B07C5/344;B07C5/36 |
| 代理公司： | 深圳市海顺达知识产权代理有限公司 44831 | 代理人： | 欧阳士 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区布吉街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种集成电路制造用多工位的测试设备，涉及集成电路技术领域，包括固定座、第一检测架和第二检测架，所述固定座的左部外侧连接有第一传输带，且第一传输带的顶部安置有安置组件，所述安置组件的内侧连接有转动板，且转动板的内侧设置有夹持组件，所述转动板的内部设置有微型气泵，且微型气泵的外侧连接有输气管，所述固定座的内侧顶端安置有传送座。本发明将多个检测工位集成在一个第一检测组件上，能降低常见集成电路板在检测过程中需要频繁移动检测造成的时间浪费和集成电路板损坏，同时多工位转动调位检测配合转动板带动集成电路板的翻转，能使集成电路板的检测更加灵活，以免集成电路板的检测产生死角。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成电路 制造 用多工位 测试 设备 | ||
【主权项】：
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