[发明专利]一种集成电路制造用多工位的测试设备

权利要求书

1.一种集成电路制造用多工位的测试设备，其特征在于，包括固定座(1)、第一检测架(12)和第二检测架(23)，所述固定座(1)的左部外侧连接有第一传输带(2)，且第一传输带(2)的顶部安置有安置组件(3)，所述安置组件(3)的内侧连接有转动板(4)，且转动板(4)的内侧设置有夹持组件(5)，所述转动板(4)的内部设置有微型气泵(6)，且微型气泵(6)的外侧连接有输气管(7)，所述固定座(1)的内侧顶端安置有传送座(8)，且传送座(8)的前端连接有升降板(9)，所述升降板(9)的底部外侧连接有吸附台(10)，所述固定座(1)的内侧中端设置有支撑座(11)，所述第一检测架(12)安置于支撑座(11)的外端，所述第一检测架(12)的顶部外侧卡开设有入料口(13)，且第一检测架(12)的内部两侧安置有位移组件(14)，所述第一检测架(12)的顶部内侧开设有位移槽(15)，且位移槽(15)的内侧设置有第一检测组件(16)，所述第一检测组件(16)的外端连接有第一气缸(17)，所述第一检测架(12)的右部外侧设置有第二气缸(18)，且第二气缸(18)靠近第一检测架(12)一侧安置有第一推板(19)，所述第二气缸(18)的底部外侧设置有第三气缸(20)，且第三气缸(20)的左部外侧连接有第一挡板(21)，所述第一检测架(12)的左部外侧开设有第一连通槽(22)，所述第二检测架(23)安置于第一检测架(12)的左部外侧，且第二检测架(23)的内侧中端安置有第二检测组件(24)，所述第一检测架(12)的左部外侧设置有第四气缸(25)，且第四气缸(25)的右侧连接有第二推板(26)，所述第四气缸(25)的底部外侧安置有第五气缸(27)，且第五气缸(27)的右部外侧连接有第二挡板(28)，所述第二检测架(23)的右部外侧开设有第二连通槽(29)，所述第一检测架(12)的底部外侧开设有第一出料口(30)，所述第二检测架(23)的底部外侧开设有第二出料口(31)，所述第一出料口(30)、第二出料口(31)的底部外侧安置有第二传输带(32)。

2.根据权利要求1所述的一种集成电路制造用多工位的测试设备，其特征在于，所述安置组件(3)包括安置壳体(301)、第一磁吸板(302)、第一电机(303)和转动轴(304)，所述安置壳体(301)的外部两侧连接有第一磁吸板(302)，且安置壳体(301)的内侧中端连接有第一电机(303)，所述第一电机(303)的外侧设置有转动轴(304)。

3.根据权利要求2所述的一种集成电路制造用多工位的测试设备，其特征在于，所述转动轴(304)与转动板(4)转动连接，且转动板(4)的竖直中心线与安置壳体(301)的竖直中心线相互重合。

4.根据权利要求1所述的一种集成电路制造用多工位的测试设备，其特征在于，所述夹持组件(5)包括连接板(501)、电磁铁(502)、弹簧座(503)、卡接座(504)、磁吸座(505)和气囊(506)，所述连接板(501)的外端连接有电磁铁(502)，且连接板(501)的外部两侧设置有弹簧座(503)，所述弹簧座(503)的外端连接有卡接座(504)，所述卡接座(504)靠近连接板(501)一侧设置有磁吸座(505)，所述卡接座(504)的内侧连接有气囊(506)。

5.根据权利要求4所述的一种集成电路制造用多工位的测试设备，其特征在于，所述磁吸座(505)与电磁铁(502)吸附连接，且磁吸座(505)的竖直中心线与卡接座(504)的竖直中心线相互重合，所述卡接座(504)与弹簧座(503)弹性连接。

6.根据权利要求4所述的一种集成电路制造用多工位的测试设备，其特征在于，所述卡接座(504)与气囊(506)粘合连接，且微型气泵(6)通过输气管(7)与气囊(506)相连通。