[发明专利]一种新型晶圆表面烘干装置有效
| 申请号： | 202210015170.1 | 申请日： | 2022-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN114076515B | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 周明 | 申请（专利权）人： | 江苏明芯微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | F26B15/18 | 分类号： | F26B15/18;F26B21/10;F26B23/04;F26B3/30;F26B25/02;F26B25/06;F25D3/10 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 丁桂红 |
| 地址： | 226600 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型晶圆表面烘干装置，包括烘干框架，所述烘干框架正面和背面均安装有横档，两组所述横档相互远离的表面安装有检测框和标记框架，前方所述横档的顶部安装有输送风机；所述输送风机的背面安装有连接框架，所述输送风机的顶部安装有红外温度计，所述连接框架的底壁安装有中空的金属管，所述金属管的内部安装有三组等距布置的导气管，所述电子阀与红外温度计电性连接，所述导气管的顶部嵌合连接有液氮管。本发明通过设置有输送风机和标记框，可通过标记框底部的超声波测距仪检测晶圆表面是否发生胀包现象，并利用电动伸缩杆、电推杆和标记板对胀包晶圆进行标记，随后利用输送风机进行筛选分类，实现良品和不良品的区分。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 表面 烘干 装置 | ||
【主权项】：
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