[发明专利]一种新型晶圆表面烘干装置

权利要求书

1.一种新型晶圆表面烘干装置，包括烘干框架（4），其特征在于：所述烘干框架（4）正面和背面均安装有横档（102），两组所述横档（102）相互远离的表面安装有检测框（3）和标记框架（5），且标记框架（5）位于检测框（3）的一侧，前方所述横档（102）的顶部安装有输送风机（2），且输送风机（2）位于标记框架（5）的一侧；

所述输送风机（2）的背面安装有连接框架（201），所述输送风机（2）的顶部安装有红外温度计（206），所述连接框架（201）的底壁安装有中空的金属管（202），所述金属管（202）的内部安装有三组等距布置的导气管（203），所述导气管（203）的表面安装有电子阀（204），所述电子阀（204）与红外温度计（206）电性连接，所述导气管（203）的顶部嵌合连接有液氮管（205），且液氮管（205）的顶部与连接框架（201）的顶壁贴合；

所述标记框架（5）的顶部安装有等距布置的计数器（8）。

2.根据权利要求1所述的一种新型晶圆表面烘干装置，其特征在于：所述烘干框架（4）的内壁安装有二号红外加热板（403），所述烘干框架（4）的顶壁四角均安装有电动伸缩筒（401），所述电动伸缩筒（401）的底部连接有一号红外加热板（402），所述烘干框架（4）的正面安装有温度控制器（404），所述温度控制器（404）的表面安装有控制按钮和温度检测器，且温度检测器位于控制按钮的上方，所述温度检测器与一号红外加热板（402）、二号红外加热板（403）电性连接。

3.根据权利要求1所述的一种新型晶圆表面烘干装置，其特征在于：所述烘干框架（4）的正面安装有一号显示屏（801），所述一号显示屏（801）的安装数量与计数器（8）的安装数量相等，所述烘干框架（4）的正面安装有二号显示屏（802），且二号显示屏（802）位于一号显示屏（801）的下方，且二号显示屏（802）与一号显示屏（801）电性连接，所述一号显示屏（801）与计数器（8）一一电性连接，所述二号显示屏（802）位于温度控制器（404）的侧上方。

4.根据权利要求1所述的一种新型晶圆表面烘干装置，其特征在于：所述标记框架（5）的底部安装有等距布置的电动伸缩杆（504），且电动伸缩杆（504）的安装数量和安装位置与计数器（8）一一对应，所述电动伸缩杆（504）的底部安装有延伸杆（501），所述延伸杆（501）的底部设有出口（503），所述出口（503）的内壁安装有刷条（502），且刷条（502）的长度小于出口（503）的直径。

5.根据权利要求4所述的一种新型晶圆表面烘干装置，其特征在于：所述延伸杆（501）的顶壁安装有电推杆（6），所述电推杆（6）的尾端连接有标记板（601），且标记板（601）为上下堆叠布置，所述标记板（601）包括有隔离膜（602）、铁块（603）和胶接块（604），所述隔离膜（602）的底部连接有铁块（603），所述铁块（603）的底部连接有胶接块（604），所述胶接块（604）的底部与另一组标记板（601）中隔离膜（602）的顶部连接，所述胶接块（604）底部的圆心位置设有胶接区（605），且胶接区（605）的边缘与刷条（502）的尾端重合。

6.根据权利要求1所述的一种新型晶圆表面烘干装置，其特征在于：所述横档（102）的尾端底部嵌合连接有支杆，所述支杆的尾端连接有废料收集框（7），所述废料收集框（7）的背面一侧连接有常料收集框（701），所述常料收集框（701）的背面安装有挡板（702），所述挡板（702）的内部设有贯穿的透气孔（703）。

7.根据权利要求1所述的一种新型晶圆表面烘干装置，其特征在于：所述检测框（3）的底部设有等距布置的超声波测距仪（301），且超声波测距仪（301）的安装位置和安装数量与电动伸缩杆（504）一一对应，所述超声波测距仪（301）与电动伸缩杆（504）、电推杆（6）一一电性连接。