[发明专利]一种NLDMOS器件及制备方法、芯片有效
申请号: | 202210014429.0 | 申请日: | 2022-01-07 |
公开(公告)号: | CN114050181B | 公开(公告)日: | 2022-03-22 |
发明(设计)人: | 赵东艳;王于波;邓永峰;陈燕宁;付振;刘芳;余山;吴波;郁文;王凯;刘倩倩 | 申请(专利权)人: | 北京芯可鉴科技有限公司;北京智芯微电子科技有限公司;国网信息通信产业集团有限公司 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/78;H01L21/336 |
代理公司: | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人: | 高英英 |
地址: | 102200 北京市昌平区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明实施例提供一种NLDMOS器件及制备方法、芯片,所述NLDMOS器件包括:衬底,所述衬底上方设有第一高压N阱区和第二高压N阱区,所述第一高压N阱区和第二高压N阱区之间留有衬底间隙;所述第一高压N阱区和第二高压N阱区上设有P型降低电场区,所述P型降低电场区经过所述衬底间隙;所述第一高压N阱区上还设有P型体区,所述第二高压N阱区上设有N型漂移区;所述P型体区、衬底间隙以及N型漂移区形成PIN结。所述NLDMOS器件的结构设计有效的提高了击穿电压。 | ||
搜索关键词: | 一种 nldmos 器件 制备 方法 芯片 | ||
【主权项】:
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