[发明专利]基板搬运系统以及基板搬运装置在审
| 申请号： | 202180082283.7 | 申请日： | 2021-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN116568618A | 公开（公告）日： | 2023-08-08 |
| 发明（设计）人： | 山口刚;久保田义昭;大仁健辅 | 申请（专利权）人： | 株式会社安川电机 |
| 主分类号： | B65G54/02 | 分类号： | B65G54/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 徐丹;邓毅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 基板搬运系统(1)具备：线性搬运装置(2)，其沿着搬运线(TL)搬运基板(W)；机器人，其从线性搬运装置(2)接收基板(W)而搬入处理单元(PU)，并从处理单元(PU)搬出基板(W)而交接给线性搬运装置(2)，线性搬运装置(2)具备：移动基部(50)(第一移动体)，其沿着搬运线(TL)移动；浮起单元(10)(第二移动体)，其支承基板(W)；以及非接触力产生部(70)，其以使浮起单元(10)相对于移动基部(50)浮起的同时使浮起单元(10)追随移动基部(50)的移动的方式，使非接触力从移动基部(50)作用于浮起单元(10)。 | ||
| 搜索关键词： | 搬运 系统 以及 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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