[发明专利]基板搬运系统以及基板搬运装置

说明书

基板搬运系统(1)具备：线性搬运装置(2)，其沿着搬运线(TL)搬运基板(W)；机器人，其从线性搬运装置(2)接收基板(W)而搬入处理单元(PU)，并从处理单元(PU)搬出基板(W)而交接给线性搬运装置(2)，线性搬运装置(2)具备：移动基部(50)(第一移动体)，其沿着搬运线(TL)移动；浮起单元(10)(第二移动体)，其支承基板(W)；以及非接触力产生部(70)，其以使浮起单元(10)相对于移动基部(50)浮起的同时使浮起单元(10)追随移动基部(50)的移动的方式，使非接触力从移动基部(50)作用于浮起单元(10)。

技术领域

本公开涉及基板搬运系统以及基板搬运装置。

背景技术

在专利文献1中公开了一种基板处理装置，其利用通过线性马达的驱动而在搬运室内移动的移动式机器人来搬运基板。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008-028179号公报

发明内容

发明要解决的课题

本发明提供一种对于兼顾搬运精度和抑制扬尘有效的基板搬运系统。

用于解决课题的手段

本公开的一个方面所涉及的基板搬运系统具备：线性搬运装置，其沿着搬运线搬运基板；以及机器人，其从线性搬运装置接收基板而搬入处理单元，并从处理单元搬出基板而交接给线性搬运装置，线性搬运装置具备：第一移动体，其沿着搬运线移动；第二移动体，其支承基板；以及非接触力产生部，其以使第二移动体相对于第一移动体浮起的同时使第二移动体追随第一移动体的移动的方式，使非接触力从第一移动体作用于第二移动体。

本发明的另一方面所涉及的基板搬运装置具备：第一移动体，其沿着搬运线移动；第二移动体，其支承基板；以及非接触力产生部，其以使第二移动体相对于第一移动体浮起的同时使第二移动体追随第一移动体的移动的方式，在第一移动体与第二移动体之间产生非接触力，非接触力产生部具有：第一致动器，其沿着与搬运线交叉的第一交叉线与第二移动体对置，并使非接触力作用于第二移动体；以及第二致动器，其沿着与搬运线和第一交叉线交叉的第二交叉线与第二移动体对置，并使非接触力作用于第二移动体，第一致动器使与搬运线平行的第一非接触力作用于第二移动体，第二致动器使与搬运线平行的第二非接触力作用于第二移动体。

发明效果

根据本公开，能够提供一种对兼顾搬运精度和抑制扬尘有效的基板搬运系统。

附图说明

图1是例示基板搬运系统的概略结构的示意图。

图2是沿着图1中的II-II线的剖视图。

图3是沿着图2中的III-III线的剖视图。

图4是沿着图2中的IV-IV线的剖视图。

图5是沿着图2中的V-V线的剖视图。

图6是汇总了非接触力以及测位线的示意图。

图7是表示非接触力产生部以及位置/姿势检测部的变形例的示意图。

图8是例示力控制步骤的流程图。

图9是例示控制器的硬件结构的图。

具体实施方式

以下，参照附图对实施方式进行详细说明。在说明中，对相同要素或具有相同功能的要素标注相同的附图标记，并省略重复的说明。

〔基板搬运系统〕