[发明专利]基板搬运系统以及基板搬运装置

权利要求书

1.一种基板搬运系统，其具备：

线性搬运装置，其沿着搬运线搬运基板；以及

机器人，其从所述线性搬运装置接收基板而搬入处理单元，并从所述处理单元搬出所述基板而交接给所述线性搬运装置，

所述线性搬运装置具备：

第一移动体，其沿着所述搬运线移动；

第二移动体，其支承所述基板；以及

非接触力产生部，其以使所述第二移动体相对于所述第一移动体浮起的同时使所述第二移动体追随所述第一移动体的移动的方式，使非接触力从所述第一移动体作用于所述第二移动体。

2.根据权利要求1所述的基板搬运系统，其中，

所述线性搬运装置具有划分壁，该划分壁将供所述第一移动体移动的第一空间与供所述第二移动体移动的第二空间分隔开。

3.根据权利要求1或2所述的基板搬运系统，其中，

所述非接触力产生部具有：

第一致动器，其沿着与所述搬运线交叉的第一交叉线与所述第二移动体对置，并使非接触力作用于所述第二移动体；以及

第二致动器，其沿着与所述搬运线以及所述第一交叉线交叉的第二交叉线与所述第二移动体对置，并使非接触力作用于所述第二移动体。

4.根据权利要求3所述的基板搬运系统，其中，

所述第一致动器使与所述搬运线平行的第一非接触力作用于所述第二移动体，

所述第二致动器使与所述搬运线平行的第二非接触力作用于所述第二移动体。

5.根据权利要求4所述的基板搬运系统，其中，

所述第一致动器还使沿着所述第一交叉线的第一交叉非接触力作用于所述第二移动体，

所述第二致动器还使沿着所述第二交叉线的第二交叉非接触力作用于所述第二移动体。

6.根据权利要求5所述的基板搬运系统，其中，

所述第一致动器及所述第二致动器是使所述第二移动体沿着所述搬运线位移的线性马达。

7.根据权利要求5或6所述的基板搬运系统，其中，

所述基板搬运系统还具有第三致动器，该第三致动器沿着与所述第二交叉线交叉且与所述第一交叉线平行的第三交叉线与所述第二移动体对置，并使非接触力作用于所述第二移动体。

8.根据权利要求7所述的基板搬运系统，其中，

所述第三致动器使与所述搬运线平行的第三非接触力作用于所述第二移动体。

9.根据权利要求8所述的基板搬运系统，其中，

所述第三致动器还使沿着所述第三交叉线的第三交叉非接触力作用于所述第二移动体。

10.根据权利要求9所述的基板搬运系统，其中，

所述第一致动器及所述第三致动器从下方与所述第二移动体对置，

所述第二致动器相对于所述线性搬运装置，从配置所述机器人的方向的相反方向与所述第二移动体对置。

11.根据权利要求1～10中的任一项所述的基板搬运系统，其中，

所述非接触力产生部在所述第一移动体与所述第二移动体之间产生相互独立的6个非接触力。

12.根据权利要求1～11中的任一项所述的基板搬运系统，其中，

所述基板搬运系统还具有力控制部，该力控制部基于所述第二移动体相对于所述第一移动体的相对位置来控制所述非接触力产生部产生的非接触力。

13.根据权利要求12所述的基板搬运系统，其中，

所述基板搬运系统还具备线性传感器，该线性传感器沿着与所述搬运线交叉的感测线与所述第二移动体对置，检测所述第二移动体相对于所述第一移动体的沿着所述搬运线的相对位移，

所述力控制部至少基于所述线性传感器的检测结果，控制所述非接触力产生部产生的非接触力。