[发明专利]电力供给装置、系统、曝光装置以及物品制造方法在审
| 申请号： | 202180076980.1 | 申请日： | 2021-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN116547879A | 公开（公告）日： | 2023-08-04 |
| 发明（设计）人： | 茂木泰弘 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | H02J1/10 | 分类号： | H02J1/10 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 孙蕾 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 电力供给装置具有用于向多个单元供给电力的多个电力供给端子。各单元包括：受电部，从所述多个电力供给端子中的任一个接受电力的供给；以及设备，不对所述受电部接受电力的供给，而将包含与该单元的消耗电力相关的信息的控制信息向所述电力供给装置提供。所述电力供给装置具备：多个电源；以及控制部，在未经由所述多个电力供给端子向所述多个单元供给电力的状态下从所述多个单元各自的所述设备获取所述控制信息，基于所述控制信息从所述多个电源中选择用于经由所述多个电力供给端子中的任一个向所述多个单元中的至少1个供给电力的电源。 | ||
| 搜索关键词： | 电力 供给 装置 系统 曝光 以及 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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